池田屋原装CA佳能真空离子计

池田屋原装CA佳能真空离子计
池田屋原装CA佳能真空离子计  
Canon Anelva是日本佳能集团旗下专注于真空技术制造设备的品牌，其产品以高精度、强稳定性和创新技术著称，广泛应用于半导体、光伏、科研及工业领域。以下是其核心优势与产品体系的系统介绍：

‌一、品牌定位与技术优势‌

‌1. 核心技术积累‌

• ‌多原理真空测量技术‌：覆盖热阴极电离规（如BRG-1B，量程1×10⁻²–10⁻⁵Pa，精度±10%）、冷阴极真空计（如M-370CG，量程1×10⁻⁷–1×10⁰Pa）以及电容真空计（如M-342DG），适应从大气压到超高真空的全场景测量需求‌。

• ‌抗干扰设计‌：采用模块化结构和电磁屏蔽技术，确保在半导体蚀刻、镀膜等复杂工业环境中数据可靠性（如BRG-1B的RS485接口支持0.5秒级异常响应）。

• ‌长寿命组件‌：例如BRG-1B的钨丝发射极通过特殊工艺处理，配合自清洁功能，显著延长关键部件寿命‌。

‌2. 工业场景适配性‌

• ‌半导体制造‌：真空蚀刻设备（如L-201D-L）实现10⁻⁶Pa极限真空，配合13.56MHz射频电源，确保等离子蚀刻精度‌。

• ‌光伏与新材料‌：针对大面积镀膜腔体开发的分布式真空监控方案（如MG-2M探头），支持长达数十米传输腔体的实时压力控制‌。

‌二、核心产品系列及应用场景‌

‌1. 真空计量设备‌

• ‌高精度测量类‌

• ‌BRG-1B电离规‌：用于晶圆蚀刻/沉积工艺，提升压力控制精度23%。

• ‌M-361CP组合真空计‌：集成皮拉尼计（中真空）与冷阴极计（超高真空），单设备覆盖1Pa–10⁻⁷Pa宽量程，降低系统成本‌。

• ‌特种环境适配类‌

• ‌M-350PG皮拉尼真空计‌：耐腐蚀设计，适用于化学活性气体环境‌。

• ‌M-370CG冷阴极计‌：无热灯丝结构，避免高温损伤，专用于电子束焊接、加速器等超高真空场景‌。

‌2. 工艺设备与关键部件‌

• ‌蚀刻系统‌：L-201D-L二手设备仍被重用，印证其耐用性；支持0–500W射频功率精确调节，满足多元化蚀刻需求‌。

• ‌真空探头与开关‌：

• ‌MG-2系列探头‌：金属封装微型规管，可测1Pa溅射工艺压力，兼容NW16/NW25等多种法兰‌。

• ‌954-7730真空开关‌：机械式压力传感，动作精度±2.7×10³Pa，用于安全联锁控制‌。

‌三、市场竞争力与服务网络‌

• ‌本土化支持‌：在中国设立南京、深圳等7个支社，提供技术响应与备件供应（如M-342DG电容计由深圳代理商直供）‌。

• ‌性价比优势‌：二手设备（如L-201D-L）在中小型企业中广受欢迎，印证产品耐久性‌。

• ‌行业认证‌：全线产品符合CE、RoHS及IP40防护标准，适配全球制造体系‌。

‌总结‌

Canon Anelva凭借‌全链路真空技术积累‌与‌工业级可靠性设计‌，成为半导体、光伏等领域的关键设备供应商。其产品线从基础计量到复杂制程设备的全覆盖，以及在中国市场的本地化服务布局，持续推动制造业的真空工艺升级‌。