池田屋商社IKC入江工研 超高真空补偿波纹管

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CF70 是 CF 规格带 Conflat 法兰成形波纹管，波纹管本体 SUS316L，法兰材质 SUS304，适用于超高真空工况，内部真空、外部大气压。常规 20℃使用，烘烤最高 250℃，氦检漏指标≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，反复使用寿命 10000 次。基础参数：内径 30.2mm，波纹管外径 41.0mm，板厚 0.15mm，长度 54.6mm；法兰外径 69.3mm，法兰板厚 12.7mm，孔距 58.7mm，安装孔 6-Φ6.8；工作长度区间 72～88mm，轴向弹簧常数 9.1N/mm，有效面积 10.0cm²。CF 成形波纹管采用一体冲压成形结构，搭配金属刀口法兰，无橡胶件，放气低，支持高温烘烤，是超高真空系统常用补偿元件，用来吸收热胀冷缩、安装错位，阻隔振动传递。同 CF 成形系列除 CF34、CF70 以外，还有 CF114、CF152、CF203、CF253 多款规格，通径逐级放大，弹簧刚度与有效面积同步变化，按需选型。CF70 属于中小通径超高真空配件，广泛配套科研实验设备、真空镀膜、表面分析仪器、半导体真空腔体，缓冲真空泵振动，抵消管路温度形变，降低刀口密封位置附加应力。工程设计阶段，依靠波纹管弹性形变实现轴向补偿，降低硬连接带来的力矩与拉力，保护昂贵的 CF 刀口密封。运行时不能超出标注工作长度范围，防止波纹变形造成泄漏。