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原装到货IKC入江工研 高真空L型角阀

描述:原装到货IKC入江工研 高真空L型角阀 3FLV-25C
3FLV-25C 是一款采用 JIS 法兰标准的高真空 L 型角阀。该型号为单动常闭(气动)驱动,真空侧采用不锈钢材质并配备金属波纹管密封。适用于半导体设备、真空冶金及各类需要 JIS 法兰连接的高真空管路系统的流体通断控制。

  • 产品型号:3FLV-25C
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-10-27
  • 访问量:8
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

原装到货IKC入江工研 高真空L型角阀 3FLV-25C

原装到货IKC入江工研 高真空L型角阀 3FLV-25C






在高真空设备的管路设计中,法兰标准的选择往往需要与现有的腔体、泵组及管件相匹配。IKC入江工研 3FLV 系列采用 JIS(日本工业标准)法兰连接,其中 3FLV-25C 结合了金属波纹管密封与气动驱动,为采用 JIS 标准的真空系统提供了一种管路通断的解决方案。

该型号的驱动代码“C"代表单动常闭型(Normally Closed)。工作逻辑为:通入压缩空气时阀门开启,切断气源后依靠弹簧复位关闭。在断电或断气时,阀门能自动回到关闭状态,有助于维持真空腔体的隔离。驱动气源建议使用 0.4~0.6 MPa 的洁净干燥压缩空气。同系列还提供复动型(D)与单动常开型(O),以适应不同的自动化控制需求。

在尺寸与结构方面,3FLV-25C 的公称通径为 25A。根据尺寸表数据,其总高度(A)约为 151.5mm,法兰面间距(F)为 60mm,法兰外径(φJ)为 70mm,法兰厚度(E)为 24.5mm,法兰孔分布直径(K)为 90mm,适用 4 个 10mm 的安装孔。法兰类型为 JIS B 2290 VG(固定法兰),另一侧为 VF(活动法兰),活动法兰设计便于在狭窄空间内对位安装。阀体材质为 SUS304 不锈钢,波纹管采用 SUS316L,阀座密封材料为 FKM。使用压力范围为大气压至 1×10⁻⁶ Pa,漏率低于 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。阀体耐烘烤温度参考值为 120℃,气动执行器耐热上限约为 65℃。

从应用场景来看,L 型流道使管路呈 90° 转向,有助于优化真空管路的走向并节省安装空间。气动接口标注为 Rc1/8(部分规格对应 D、O 型驱动)。在实际选型与安装时,需确认真空系统的极限压力与法兰规格是否匹配,检查气动管路的气密性,并根据工艺需求设定合适的开闭频率。对于需要较高清洁度的工艺,建议在安装前对阀门内部进行清洁处理,并按照规范进行管路烘烤。

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