池田屋精品IKC入江工研超高真空直线导入器

池田屋精品IKC入江工研超高真空直线导入器ILD-34M

池田屋精品IKC入江工研超高真空直线导入器ILD-34M

在表面物理分析、真空镀膜及材料科学实验中，往往需要在不破坏超高真空环境的前提下，对腔体内的样品或探针进行精准的直线位移控制。IKC入江工研 ILD-50M 波纹管式直进导入机通过内置的焊接波纹管结构，将外部的大气环境与内部的真空腔体物理隔绝，为这类机械传动需求提供了一种可靠且紧凑的解决方案。

该型号尾部的“M"代表手动驱动（Manual）。设备内部采用入江工研制造的焊接波纹管，材质为 SUS316L。相较于传统的橡胶 O 型圈滑动密封，全金属波纹管在伸缩过程中不易产生磨损颗粒，且能承受高温烘烤，有助于维持超高真空系统的洁净度与极限压力。依靠波纹管的形变传递位移，大气侧的操作动作得以平稳地传导至真空侧。

在操作与位置读取方面，设备后端配有手轮旋钮。机身表面设有刻度盘，刻度以 1mm 为一格，并进行了 10 分割的细分（即 0.1mm 刻度），结合轴端的指示器，操作者在外部旋转手轮时，能够直观地读取和设定当前的前端进给位置。设备结构设计精简紧凑，体积相对轻巧，在有限的腔体法兰面上占用空间较小。

在核心性能参数上，ILD-50M 的标称行程为 50mm。其氦检漏漏率可达 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下，满足超高真空（UHV）环境的密封要求。设备可耐受最高 250℃ 的烘烤温度，便于在系统整体烘烤除气时同步处理，降低出气率。轴向负载能力参考值为 196N（20kgf），在手动推拉样品或轻量部件时能够提供一定的结构支撑。连接法兰配置为 CF34（金属刀口密封），适用于对应口径的腔体接口。

从适用场景来看，该型号常用于表面分析腔体的探针或样品定位、样品台的升降送样、小型镀膜设备的样品进给，以及各类科研超高真空实验平台。在实际安装与使用中，应保持旋转手轮的平稳，避免快速冲击对波纹管造成机械应力；安装 CF 法兰时，需确保无氧铜垫圈放置平整并均匀紧固螺栓，以保障接口的密封可靠性。