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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION现货精品IKC入江工研 紧凑型旋转导入机IRC-34
现货精品IKC入江工研 紧凑型旋转导入机IRC-34
在真空表面分析、分子束外延(MBE)及各类薄膜沉积工艺中,经常需要在真空腔体外部控制内部样品的旋转角度,以便进行不同晶面的分析或均匀镀膜。IKC入江工研的 IRC 系列紧凑型旋转导入机通过金属波纹管实现旋转动密封,为这类需求提供了一种结构精简的传动方案。IRC-34 是适配 CF34 法兰的手动型号。
该设备的核心传动部件采用了入江工研制造的焊接波纹管(材质为 SUS316L)。在进行旋转操作时,波纹管利用其自身的扭转柔性来传递旋转力矩,从而实现外部旋钮与内部轴杆的联动,同时将大气侧与高真空侧物理隔断。这种结构避免了使用传统橡胶 O 型圈作为旋转动密封时可能出现的摩擦碎屑与漏气隐患。
在操作与定位方面,设备尾端配有一个带有刻度的旋钮,设备本体支持 360° 连续回转。为了便于进行特定角度的固定,设备配备了旋转凸轮锁紧机构(Rotary lock mechanism)。操作者可以在 360° 范围内任意设定并锁定旋转角度。机身上带有目盛(刻度),单位为度(10°),结合读数可进行相对角度的定位。设备的旋转扭矩参考值为 0.98N·m(10kgf·cm),建议的最高旋转速度为 100RPM。
在密封与真空性能上,IRC-34 使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa(高真空),氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。连接法兰采用 CF34(金属刀口密封)标准。受限于紧凑型结构的设计,该型号的允许烘烤温度上限参考值为 150℃,在进行系统高温除气时需留意温度控制。
从应用场景来看,该型号适用于小型表面分析设备的样品旋转台、光学镜片的真空角度调节,或质谱仪中靶材的定位。在实际安装时,应确保 CF34 法兰与腔体对接平整,按规范使用无氧铜垫圈并均匀紧固。操作旋转时,应保持动作平稳,避免过大的侧向力施加在波纹管上,以减缓金属疲劳。对于需要更高扭矩或更大法兰口径的工况,可参考该系列中适配 CF70 的型号(IRC-70)。
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