原装到货IKC入江工研 波纹管式直进导入机

原装到货IKC入江工研 波纹管式直进导入机ILD-70M

原装到货IKC入江工研 波纹管式直进导入机ILD-70M

在表面物理分析、真空镀膜以及材料科学实验中，经常需要在真空腔体外部精准控制内部样品的直线位置，同时保持高的真空度。IKC入江工研 ILD-M 系列波纹管式直进导入机利用金属波纹管的弹性形变来传递位移，避免了传统 O 型圈滑动密封可能带来的摩擦力与漏气风险。ILD-70M 作为该系列的中行程手动型号，在空间布局与操作精度之间提供了一种平衡配置。

该型号名称尾部的“M"代表手动驱动（Manual）。设备后端设有一个带刻度环的旋钮，操作者通过手动旋转该旋钮，驱动内部机械结构带动波纹管沿轴向拉伸或压缩，从而实现前端轴杆的直线进出。设备主体上印有以 1mm 为单位的刻度标尺，并带有 1/10（0.1mm）的细分刻度，配合末端的指示器（Indicator），操作者可以在外部直观地读取和设定样品的当前位移量。

在核心参数与结构方面，ILD-70M 的标称行程（Stroke）为 70mm。其连接法兰采用 CF70（金属刀口密封）标准，能够直接与超高真空腔体对接。为了适应严格的高真空环境，设备内部的驱动部件采用了入江工研的焊接波纹管（材质为 SUS316L），实现了驱动部与真空侧的物理隔离。设备的漏率指标为低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（超高真空）。得益于全金属的密封与结构设计，该设备支持最高 250℃ 的烘烤温度，便于在实验前对腔体及导入机进行高温除气。

从适用场景来看，ILD-70M 适用于需要较长位移距离的样品传递、探针定位或内部挡板控制。在使用与维护时，旋转旋钮应保持平稳，避免用力过猛导致内部丝杠或波纹管产生机械损伤。安装 CF 法兰时，需确保无氧铜垫圈放置平整，并按照对角线顺序均匀紧固螺栓。在系统进行高温烘烤时，建议遵循缓慢升降温的原则，以减小金属部件的热应力。该型号适用于各类要求清洁度与真空度的实验室分析设备及小型镀膜系统。