池田屋精品IKC入江工研波纹管式直进导入机

池田屋精品IKC入江工研波纹管式直进导入机ILD-114M

池田屋精品IKC入江工研波纹管式直进导入机ILD-114M

在复杂的真空工艺设备中，从大气侧向高真空或超高真空腔体内传递直线机械运动，并保持高的气密性，是硬件设计的一个重要环节。IKC入江工研 ILD-M 系列波纹管式直进导入机通过全金属焊接波纹管的伸缩来实现这一目的。ILD-114M 作为该系列中行程较长的型号，为腔体内深处或需要较大活动范围的样品操作提供了延伸手段。

该型号名称尾部的“M"代表手动驱动（Manual）。操作时，实验人员通过旋转设备后端的旋钮来驱动内部机构。设备本体上设有一根带 1mm 刻度的标尺，并配有 1/10（0.1mm）的细分刻度，结合轴端的指示器（Indicator），用户可以直观地在腔体外部读取并设定前端轴杆的具体位置。这种纯机械的直连反馈，在手动调节过程中能提供实时的位置参考。

在核心尺寸与规格方面，ILD-114M 的行程（Stroke）为 114mm，较长的行程意味着其整体长度也相应增加，在设备安装时需要预留足够的轴向空间。其连接法兰采用 CF114（金属刀口密封）标准，适用于较大口径的腔体接口。设备内部采用焊接波纹管（材质 SUS316L）作为动密封元件，杜绝了橡胶 O 型圈滑动摩擦产生的颗粒与渗透漏气。设备的漏率指标低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（超高真空）。

由于采用了全金属结构，ILD-114M 支持最高 250℃ 的烘烤温度。在系统进行高温除气时，导入机内部的波纹管也能耐受烘烤，有助于降低整体系统的出气率。然而，需要注意的是，波纹管在经历多次长距离的伸缩循环后，其金属疲劳特性需要被关注。在操作时，应避免快速旋转旋钮，防止波纹管受到过大的轴向冲击。安装 CF114 法兰时，需正确放置无氧铜垫圈，并按对角线顺序均匀施加扭矩。该型号适用于长距离样品传输、大型真空镀膜设备内的掩膜板移动以及加速器或同步辐射光束线的精密定位等场景。