池田屋直销IKC入江工研波纹管式直进导入机

池田屋直销IKC入江工研波纹管式直进导入机ILD-114A

池田屋直销IKC入江工研波纹管式直进导入机ILD-114A

在大型表面分析设备、自动化镀膜生产线以及同步辐射光束线站中，常需要在超高真空腔体内进行较长距离的样品传送或探针定位，且要求动作具备可重复性。IKC入江工研 ILD-A 系列自动型直进导入机通过将电机驱动与全金属波纹管密封结合，为这类自动化位移需求提供了一种执行组件。ILD-114A 是该系列中适配 CF114 法兰的较大口径型号。

该型号名称尾部的“A"代表自动驱动类型（Automatic）。设备尾部配备了一台可逆电机（Motor），通过接收外部控制信号实现正反转。电机驱动内部传动机构，带动 SUS316L 焊接波纹管沿轴向拉伸与压缩，从而将旋转运动转化为前端轴杆的直线运动。这种设计使得操作者无需在设备旁手动调节，即可在控制端完成样品的进退。

在安全与位置反馈方面，ILD-114A 标配了限位开关（Limit switch）。当轴杆行进至两端极限位置时，限位开关动作，切断电机电源，有助于防止因机械过载或超程导致的内部结构损坏及波纹管疲劳损伤。对于需要精确掌握位移量的自动化流程，设备可选配电位器（Potentiometer）。电位器随轴杆移动输出变化的电阻信号，外部控制系统可据此换算并实时显示当前的位置。

在核心参数方面，ILD-114A 提供 100mm 与 150mm 两种行程（Stroke）规格。其连接法兰采用 CF114 标准，适用于较大口径的真空接口。得益于金属焊接波纹管的密封结构，设备的使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（超高真空），氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。设备的轴向负载能力参考值为 490N（50kgf），能够满足一定重量样品的推拉需求。设备本体设计支持最高 250℃ 的烘烤，但烘烤时应确认电机部分的耐温限制，必要时需拆卸电机或采取隔热措施。

该型号适用于长行程样品台传输、大型真空腔体内的掩膜板更换以及科研装置中的自动化定位。在安装时，需确保 CF114 法兰的刀口与无氧铜垫圈配合良好，按对角线顺序均匀紧固螺栓。日常运行中，应避免电机在负载卡死状态下持续通电，并定期检查限位开关的动作可靠性，以保障自动化系统的稳定运行。