直销精品IKC入江工研 紧凑型旋转导入机

直销精品IKC入江工研 紧凑型旋转导入机IRC-70

直销精品IKC入江工研 紧凑型旋转导入机IRC-70

在真空镀膜、表面物理分析以及同步辐射光束线站等应用中，为了对不同晶面进行测试或实现均匀镀膜，往往需要从外部控制真空腔体内样品的旋转角度。IKC入江工研 IRC 系列紧凑型旋转导入机通过全金属波纹管结构传递旋转运动，为这类工况提供了一种避免橡胶磨损与渗透漏气的密封方案。IRC-70 是该系列中适配较大口径 CF70 法兰的手动型号。

该设备利用入江工研制造的焊接波纹管（材质 SUS316L）来实现旋转动密封。当外部旋钮转动时，波纹管依靠自身的扭转形变将力矩传递至内部轴杆，从而在隔离大气与高真空环境的同时，带动内部样品旋转。其使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa，氦检漏漏率指标低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。

在操作与角度控制方面，设备后端设有带刻度的旋钮，支持 360° 连续回转。为了满足在特定角度进行固定或定位的需求，设备配备了旋转凸轮锁紧机构（Rotary lock mechanism），允许操作者在 360° 范围内任意设定并锁定旋转角度。机身上标有目盛（单位 10°），便于读取相对旋转位置。设备的允许旋转扭矩参考值为 0.98N·m（10kgf·cm），建议的旋转速度不超过 100RPM。

在结构规格上，IRC-70 采用 CF70（金属刀口密封）法兰，适用于相应口径的真空腔体接口。由于紧凑型设计的空间限制，该型号的允许烘烤温度上限参考值为 150℃，在设备整体进行高温除气时，需确认温度未超出此范围。内部轴杆的直径与承载能力针对中等尺寸的样品进行了适配。

从适用场景来看，IRC-70 常用于中大型表面分析腔体的样品旋转台、真空光学系统的镜片角度调整，以及小型离子束刻蚀设备的靶材旋转。在实际安装时，应确保 CF70 法兰的刀口与无氧铜垫圈清洁且无划痕，紧固螺栓需按对角线顺序均匀施力。日常操作中，旋转动作应保持平稳，避免快速扭动或施加过大的侧向力，以减少波纹管承受的机械应力，保障旋转传动的顺畅。