原装现货IKC入江工研 紧凑直进导入机

在紧凑型真空分析仪器或小型镀膜系统的设计中，安装接口的轴向空间往往受到机架或外部磁屏蔽等组件的限制。IKC入江工研的 ILC 系列通过缩短执行机构，在保持全金属密封性能的同时，为受限空间提供了一种直线导入方案。ILC-34-20 是该系列中行程相对较长的型号，提供 20mm 的调节范围。

该型号名称尾部的“20"代表其标称行程（Stroke）为 20mm。在 ILC 紧凑系列（10mm、15mm、20mm）中，它能够提供较宽裕的位移量，适合需要在腔体内部进行稍长距离移动的样品或探针，同时又比标准 ILD 系列（如 30mm 起步）节省轴向安装空间。设备内部采用入江工研制造的 SUS316L 焊接波纹管进行动密封，将大气环境与真空腔体隔绝。

在密封性能与耐受性方面，ILC-34-20 的使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（超高真空），氦检漏漏率指标为 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。设备的轴向负载能力参考值为 147N（15kgf）。由于紧凑化设计对内部空间的压缩，该型号的允许烘烤温度上限参考值为 150℃，在进行系统烘烤除气时，需留意温度控制，避免超出限值。

操作与位置读取方面，设备后端设有一个带滚花的手动旋钮。机身表面带有目盛刻度，以 1mm 为一格，并附有 1/10（0.1mm）的细分刻度。操作者旋转旋钮时，可以根据刻度直观地确认前端轴杆的进给量。这种手动微调方式在探针定位或样品表面间距调节中，提供了直接的视觉反馈。

从适用场景来看，该型号常用于小型表面分析腔体的样品送样、扫描探针显微镜（SPM）的粗调机构，以及小型离子泵或真空计接口的调试。在实际安装中，CF34 法兰需配合无氧铜垫圈使用，紧固螺栓时应按对角线顺序均匀施力。由于行程相对系列内其他型号较长，操作时更应保持旋转的平稳，避免快速推拉。日常维护中，建议定期清理轴杆表面的灰尘，以保持波纹管伸缩的顺畅。