池田屋到货IKC入江工研 XY角度调节平台机构

在表面物理分析、精密光学检测及离子束加工等真空应用中，样品往往不仅需要在平面内进行位置对中，还需要在倾角上进行微调，以满足特定的入射角要求。IKC入江工研的 TSN 系列平台机构在 TSL 系列二维平移的基础上，增加了角度调节功能。TSN-70 是该系列中适配 CF70 法兰的手动型号。

该设备的核心密封结构采用了入江工研的成形波纹管。当操作者调节侧面的旋钮时，内部金属波纹管通过柔性形变来适应平台的运动，实现全金属动密封。这种设计避免了传统滑动密封的摩擦磨损与颗粒产生，使得设备能够适应 1×10⁻⁷ Pa 的高真空环境，氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。

在调节维度上，TSN-70 提供了三个自由度的微调能力。其 XY 方向平移范围均为 ±5mm（调节精度参考值 5mm 行程）；同时，新增的角度调节机构（Angle）支持 0~5° 的倾斜角度调整。操作者可以通过分布在平台四周的微调旋钮，对样品的平面位置和倾斜姿态进行独立调节。这种复合调节方式，有助于在不拆卸腔体的情况下，将样品调整至实验所需的空间姿态。

在接口与结构配置方面，TSN-70 的一侧为 CF70 固定法兰，另一侧则可根据腔体接口或连接的导入机规格，选配 CF70、CF114 或 CF152 法兰。这种转换能力使其能够与 MFL 系列磁气结合式导入机等进行同轴串联，组成多轴真空传动系统。设备的允许烘烤温度上限为 150℃。

从应用场景来看，TSN-70 适用于扫描探针显微镜（SPM）的探针与样品角度对准、X射线衍射（XRD）或反射谱实验中的样品倾角调整，以及真空镀膜设备内的基片定位。在实际安装时，应确保波纹管不受外部挤压，并在行程范围内操作旋钮。由于增加了角度调节机构，平台的结构高度有所增加，在空间受限的腔体接口处安装时，需提前确认轴向预留空间。