池田屋IKC 入江工研 IC 规格成型波纹管Conflat刀口法兰超高真空波纹管介绍

Conflat 刀口法兰是超高真空系统核心密封结构，对波纹管选型要求严苛，普通波纹管容易挤压刀口、造成密封失效。IKC 入江工研 IC 规格成型波纹管，专门面向 CF 刀口法兰、端管连接工况设计，兼顾位移补偿与刀口密封保护。 

IC 成型波纹管本体材质 SUS316L，法兰基材 SUS304L，氦检漏指标最高可达 1×10⁻⁹Pa・m³/s，漏率指标优异，适配超高真空工况。常态工作温度 20℃，腔体烘烤除气最高承受 250℃，适配超高真空腔体烘烤工艺，降低内部出气量。产品循环寿命 10000 次，适合间歇式运行的真空设备。 

代表型号 IC-18A，波纹管内径 12.9mm、外径 19mm，板厚 0.15mm，适配小型 CF 刀口法兰。轴向刚度参数经过优化，在提供柔性补偿的同时，不会对刀口法兰施加过大载荷，防止刀口变形引发不可磨灭性的泄漏，无需额外转接件即可安装。 

该系列广泛用于表面分析仪器、超高真空检测设备、真空溅射设备、分子泵连接管路等真空领域。在超高真空系统中，波纹管不仅起到管路连接作用，更是维持真空度稳定的关键元件，IC 系列很好平衡了柔性补偿能力与超高真空密封可靠性。