池田屋商社IKC入江工研 真空导入机

在大型真空腔体设备、粒子加速器束线站以及大型空间环境模拟系统中，腔体接口的口径往往较大，且需要在不破坏超高真空环境的前提下，利用自动化机构完成内部样品的位移传递。IKC入江工研 ILD-A 系列自动型直进导入机结合了电机驱动与全金属密封，ILD-203A 作为该系列中适配 CF203 接口的型号，为大口径法兰节点提供了自动化直线位移的执行方案。

该型号名称尾部的“A"代表自动驱动类型（Automatic）。设备后端配备了可逆电机（Motor），电机接收外部控制信号后旋转，通过内部传动机构转化为直线运动，带动 SUS316L 焊接波纹管沿轴向伸缩。前端轴杆由此完成进给或退回动作，替代了手动旋钮，使得该设备能够无缝接入自动化控制系统，满足远程调节或工艺联动的需求。

在位置控制与安全防护方面，ILD-203A 标配了限位开关（Limit switch）。当内部机构运行至行程的两端极限位置时，限位开关触发，切断电机电源，有助于防止因超程造成的机械卡死或波纹管疲劳损伤。对于有精密定位需求的系统，该设备可选配电位器（Potentiometer），将直线位移转化为电信号反馈给控制端，实现位置的实时监控。

在核心参数方面，ILD-203A 提供 100mm 与 150mm 两种行程规格。其连接法兰采用 CF203 标准，适用于大口径的超高真空腔体。设备的使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（超高真空），氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。轴向负载能力参考值为 490N（50kgf），能够应对一定重量的样品或工装夹具。设备本体支持最高 250℃ 的烘烤温度，但烘烤前需对电机及线缆部分采取隔热保护或拆卸措施。

从应用场景来看，ILD-203A 常用于大型镀膜产线的基片传送、同步辐射光束线的样品操作、以及大科学装置中的高精度位移控制。安装时，CF203 法兰尺寸较大，需使用扭矩扳手按对角线顺序均匀紧固螺栓，确保无氧铜垫圈的密封效果。日常运行中，应避免电机在机械卡阻状态下长时间通电，并定期校验限位开关与电位器的反馈信号，以保障自动化传动机构的稳定工作。