原厂到货IKC入江工研 波纹管式直进导入机

在半导体前道制程设备、大型空间环境模拟舱以及复杂的表面分析系统中，真空腔体的接口口径往往较大，且对内部样品的自动化传送有明确要求。IKC入江工研 ILD-A 系列自动型直进导入机通过电机驱动与金属波纹管密封的组合，为这一类大口径腔体的自动化直线位移提供了一种适配方案。ILD-152A 是该系列中对应 CF152 接口的型号。

该型号名称尾部的“A"代表自动驱动类型（Automatic）。设备后端配置了可逆电机，通过控制电机的正反转来驱动内部丝杠。丝杠的旋转运动转化为直线推力，带动 SUS316L 焊接波纹管进行轴向伸缩，最终实现前端轴杆的进出。与手动型号相比，这种自动化驱动方式更适合集成到设备的整体控制逻辑中，实现远程操作或工艺程序的自动执行。

在控制与反馈机制上，ILD-152A 标配了限位开关（Limit switch）。当轴杆运行到行程两端的极限位置时，限位开关会动作并切断电机电路，以防止机械超程导致波纹管过度拉伸或压缩。针对有精确位置读数需求的工况，设备可选配电位器（Potentiometer）。电位器将轴杆的直线位移转换为电阻变化信号，传送给外部控制系统，从而实现对位置状态的实时监控。

在技术规格方面，ILD-152A 提供 100mm 与 150mm 的行程选择。其连接法兰为 CF152（金属刀口密封）标准，适用于较大口径的真空腔体。设备的使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（超高真空），氦检漏漏率指标低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。轴向负载能力参考值为 490N（50kgf）。设备本体结构设计支持最高 250℃ 的烘烤温度，但在系统烘烤时，需评估电机部分的耐受能力，通常建议采取隔热保护或拆卸电机后进行烘烤。

从应用场景来看，该型号适用于大型镀膜设备的基片传输、同步辐射光束线的样品引入、以及各类需要大口径法兰接口的超高真空自动化实验装置。在实际安装时，需为电机与线缆预留足够的轴向与侧向空间。安装 CF152 法兰时，应确保无氧铜垫圈的清洁与平整，并均匀紧固螺栓。日常维护中，需检查限位开关与电位器的接线状态，确保自动化动作的反馈信号稳定可靠。