原厂直销IKC入江工研 波纹管式密封挡板阀

在真空镀膜、表面分析及同步辐射光束线等设备中，需要在管路中间设置可开闭的挡板，以隔离不同真空段、切断分子束或阻挡光路。传统的挡板阀多采用平移或翻板结构，有时会遮挡部分视场或占用较多空间。IKC入江工研 RCS 系列波纹管式密封挡板阀采用了蝴蝶型折叠式机构，为需要较宽视野的真空管路隔离提供了一种设计。

RCS-70 是该系列中适配 CF70 法兰的型号。其核心机械结构采用了与 IRC34 旋转导入机相同技术的波纹管旋转导入机构。外部通过手动旋钮驱动，内部波纹管在传递旋转力矩的同时实现动密封，将大气与高真空环境隔绝。这种传动方式在反复开关中产生的颗粒与气体释放相对较少，有助于维持超高真空的洁净度。

该设备的一大特点是其挡板机构。挡板为对半折叠式（双开），当关闭时，两片挡板在中心合拢；当开启时，两片挡板分别向两侧折叠，从而在管路中间留出较大的通径视野。与单侧悬臂翻板相比，这种中心对称的双开结构在全部打开之时对光路或气流路径的遮挡较小，视野较宽。

在操作与规格参数方面，RCS-70 的挡板开关操作范围（Shutter part opening operation range）为 90°。设备配备了旋转凸轮锁紧机构，允许操作者在 0~90° 的任意角度设定并固定挡板的开度。设备的使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa（高真空），氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。连接法兰采用 CF70 标准（两侧均为 CF 法兰），这种双面法兰设计使得挡板阀可以方便地安装在两段管路或腔体的中间。设备的允许烘烤温度上限为 120℃。

从应用场景来看，该型号常用于分子束外延（MBE）系统的束流遮挡、真空镀膜腔体的光路隔离，以及需要快速切断气体流的分析仪器管路。在实际安装时，需确保两侧 CF70 法兰的密封面清洁，并按规定扭矩紧固螺栓。操作旋转旋钮开关挡板时，动作应平稳，避免用力过猛导致折叠机构卡阻或波纹管受损。日常维护中，应保持外部传动部件的清洁，定期检查旋转的平滑度。