池田屋到货IKC入江工研 真空直进回转导入机

在分子束外延（MBE）、扫描探针显微镜（SPM）以及复杂的离子束加工设备中，腔体内的样品往往需要完成平移与旋转的复合动作，以便进行定位、扫描或均匀处理。IKC入江工研的 MFL 系列磁气结合式直进回转导入机将直线运动与旋转运动集成于一根传动轴上，为真空环境下的多轴操作提供了一种紧凑的解决方案。MFL-70 是该系列中适配 CF70 法兰的型号。

该设备采用了磁力耦合传动技术，摒弃了传统的波纹管或 O 型圈动密封。大气侧与真空侧的传动组件均内置了钐钴（SmCo）磁铁。真空侧的从动磁铁部件被不锈钢（SUS316L）薄板密封包覆。当外部主轴动作时，通过磁力吸引带动内部机构同步运转，从而在不破坏真空隔离层的前提下，实现动力的非接触传递。这种结构减少了因机械摩擦产生的颗粒与气体释放，有助于维持高真空（1×10⁻⁷ Pa）环境的洁净度。

在运动控制方面，MFL-70 提供双轴操作能力。其旋转部分支持 360° 连续回转，直线进给（Stroke）则提供了 500mm、800mm 及 1000mm 等多种长度规格选择，以适应不同深度腔体的操作需求。设备的传动扭矩参考值为 1.47N·m（15kg·cm），轴向负载能力为 196N（20kgf）。内部轴杆设计为一体式结构，在执行直线推拉或旋转时，操作者可以通过尾部的控制机构进行独立或协同调节。

在物理参数与烘烤特性上，MFL-70 的连接法兰为 CF70（金属刀口密封）。设备允许在带磁铁的状态下进行烘烤，最高耐温参考值为 120℃。由于内部轴承属于运转消耗件，设备支持在轴承磨损后进行更换维护，以延长使用周期。此外，厂家还提供回转防止机构作为选配件，以防止在直线推拉过程中内部轴杆发生不必要的自转。

从应用场景来看，该型号适用于长行程样品的传递与角度定向、管状靶材的旋转喷涂以及需要深入腔体内部的探针定位。在实际安装时，需要预留足够的轴向空间以容纳长行程的直线轴杆。操作时，应保持旋转与推拉的平稳，避免超过额定的扭矩与轴向负载，防止内外磁铁发生失步（打滑）。日常维护中，建议定期检查磁力耦合部分的吸附力，并保持法兰接口的清洁与密封。