池田屋贸易IKC入江工研 波纹管式密封挡板阀

在大型真空分析仪器、分子束外延（MBE）设备或同步辐射光束线中，管路中间往往需要设置隔离装置，以阻挡分子束、切断气流或阻断光路。对于通径较大的管路，常规的单侧悬臂翻板在开启时可能仍会遮挡部分视场。IKC入江工研 RCS 系列波纹管式密封挡板阀通过中心对称的折叠机构，为大口径真空管路提供了一种视野较宽的隔离方案。RCS-114 是该系列中适配 CF114 法兰的型号。

该设备的核心传动机制基于入江工研成熟的波纹管旋转导入技术。外部手轮通过内部的 SUS316L 焊接波纹管传递旋转运动，利用波纹管的扭转形变实现动密封，将大气与腔体隔绝。这种结构在频繁操作中产生的机械磨损较少，有助于维持高真空或超高真空环境下的洁净度与极限压力。

RCS-114 的挡板采用了蝴蝶型（对半折叠式）双开结构。关闭时，两片挡板在管路中心合拢，实现密封隔离；开启时，两片挡板分别向两侧折叠，从而在管路截面中间让出较大的通径。这种对称结构在打开时对中心光路或束流的遮挡较小。设备支持 90° 的手动开关操作，并配备了旋转凸轮锁紧机构，操作者可以在 0~90° 范围内任意设定并锁定挡板的开度，便于在工艺中调节遮挡面积。

在技术规格方面，RCS-114 的使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa，氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。其两端均采用 CF114 标准法兰，这种双面法兰设计便于将阀门直接安装在两段管路或腔体之间。设备的允许烘烤温度上限为 120℃，在进行系统高温除气时需注意在此温度范围内操作。

从应用场景来看，该型号适用于大口径镀膜设备的基片隔离、质谱仪或表面分析设备的差分抽气段隔离。在实际安装时，需确保两侧 CF114 法兰刀口与无氧铜垫圈清洁平整，紧固螺栓需按对角线顺序均匀施加扭矩。日常操作手轮时，应保持旋转平稳，避免折叠机构在未对齐时强行关闭，以防止挡板或波纹管产生机械损伤。