池田屋现货IKC入江工研 磁力旋转导入器

在真空传动领域，传统的波纹管或 O 型圈动密封在长期旋转中会产生一定的机械磨损与震动。IKC入江工研的 MFR 系列磁气结合式回转导入机通过磁力耦合原理，将外部驱动力非接触地传递至真空侧，为实现低震动、低出气率的旋转操作提供了一种解决方案。MFR-70 是该系列中适配 CF70 法兰的型号。

该设备的核心结构依赖于内外两组磁铁。位于大气侧与真空侧的传动部件均采用了钐钴（SmCo）磁铁。这种磁铁材料在传递扭矩时具有较好的热稳定性。真空侧的驱动磁铁部件被不锈钢（SUS316L）薄板密封包覆，使得真空腔体与大气环境隔离。由于不存在橡胶或波纹管在旋转时的动态形变，设备在运行时的气体释放量与颗粒产生相对较少，这有助于维持高真空环境的洁净度。

在传动性能方面，MFR-70 支持 360° 连续回转。允许的旋转扭矩参考值为 2.94N·m（30kgf·cm），建议的最高旋转速度为 500RPM。设备支持在带磁铁的状态下进行烘烤，最高耐温为 120℃。不过需要注意的是，如果系统需要长时间处于高温状态，磁铁的特性可能会受到一定影响，因此实际使用中通常遵循烘烤温度的上限规范。

在结构与维护方面，该设备支持手动驱动（也可通过选配马达安装配件实现自动驱动）。当内部的轴承达到使用寿命后，可进行更换（轴承为消耗品）。通过更换轴承并进行清洁维护，设备可以延长使用周期。设备本体带有目盛（最小单位 1°），便于读取和设定当前的旋转角度。

从应用场景来看，MFR-70 适用于对震动敏感或对洁净度有要求的工艺环节，例如电子束蒸发镀膜中基片的旋转、扫描电子显微镜（SEM）中的样品台角度调整，以及各类需要非接触式传动的超高真空科研仪器。在安装时，CF70 法兰的密封需按要求紧固；操作旋转时，应避免超过额定的旋转扭矩，以防止内外磁铁发生“失步"（打滑）现象。日常维护中，建议定期检查磁铁组件的吸附力与旋转的平滑度。