进口贸易IKC入江工研 真空直进回转导入机

在半导体制造设备、加速器相关设施以及需要长距离样品传输的真空系统中，单一方向的运动往往难以满足复杂的工艺定位需求。IKC入江工研的 MFL 系列磁气结合式直进回转导入机将直线推拉与旋转动作集成于同一传动轴，为真空腔体内的多轴操作提供了一种结构紧凑的解决方案。MFL-114 是该系列中适配较大口径 CF114 法兰的型号。

该设备采用磁力耦合传动机制，摒弃了传统的波纹管或 O 型圈动密封。大气侧与真空侧的传动组件均内置了钐钴（SmCo）磁铁。这种磁铁材料在传递扭矩时具有较好的热稳定性，有助于实现较高的扭矩传递效率并减少空回（Lost Motion）。真空侧的从动磁铁部件被不锈钢薄板密封包覆，使得大气环境与真空腔体物理隔离。由于不存在机械接触式的动态密封，该结构在运行时的气体释放量相对较少，有助于维持高真空环境的洁净度。

在运动控制与规格方面，MFL-114 支持 360° 连续旋转。直线进给行程提供了 500mm、800mm 及 1000mm 三种规格可选，以适应不同深度腔体的操作需求。设备的传动扭矩参考值为 1.47N·m（15kg·cm），轴向负载能力为 196N（20kgf），前端轴径为 φ19h8。设备整体支持在带磁铁的状态下进行烘烤，最高耐温参考值为 120℃。内部轴承属于运转消耗件，在达到一定运行时间后可进行更换维护，以延长设备的使用周期。此外，厂家还提供回转防止机构作为选配件，用于在直线推拉过程中抑制轴杆的自转。

从应用场景来看，MFL-114 适用于长行程样品的传递与角度定向、管状靶材的旋转操作以及需要深入腔体内部的探针定位。在实际安装时，由于直线行程较长，需为轴杆的伸出预留足够的轴向空间。操作时，应保持旋转与推拉的平稳，避免超过额定的扭矩与轴向负载，防止内外磁铁发生失步。日常维护中，建议定期检查磁力耦合部分的吸附力，并保持法兰接口的清洁与密封。