日本全新IKC入江工研 波纹管密封位移机构

在超高真空系统的空间布局中，大型导入机通常负责宏观的样品传递，而微观的平面位置对中则需要专门的位移台来完成。IKC入江工研的 TSL 系列 XY 平台机构利用金属波纹管的柔性形变，在隔离大气与真空环境的同时提供二维机械位移。TSL-114 是该系列中适配 CF114 法兰的型号，常与 MFL 系列直进回转导入机组合，用于腔体内部样品的精确对准。

该平台的核心密封结构为入江工研制造的成形波纹管。当操作者旋转侧面的调节旋钮时，内部台面在 XY 方向上发生平移，带动波纹管产生侧向偏移，从而在实现机械动作的同时保持高真空密封。这种全金属密封方式不存在滑动摩擦，减少了颗粒产生与气体释放，适应 1×10⁻⁷ Pa 的高真空环境，氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。

在调节性能方面，TSL-114 的 XY 方向调节范围均为 ±5mm（调节精度参考值为 5mm 行程）。平台四周设有微调旋钮，操作者可通过手动旋转进行平面位置的精细调整。其单侧接口采用 CF114 固定法兰，另一侧则提供法兰转换选项，可根据实际连接的导入机或腔体接口，匹配 CF70、CF114 或 CF152 规格。这种灵活的接口配置使其能够较好地融入不同的管路布局。

设备在结构上分为 TSL 与 TSN 两种机制。TSL-114 仅提供 XY 方向的平移功能；而同系列的 TSN 型号在平移的基础上增加了 0~5° 的角度调节机构。该型号的允许烘烤温度上限为 150℃，在系统进行高温烘烤除气时，需确保工作温度处于此范围内。

从应用场景来看，TSL-114 适用于扫描探针显微镜（SPM）的二维寻样、光学分析仪器的焦点对准，以及离子束刻蚀中样品的区域定位。在实际安装中，建议将其与导入机同轴装配，并预留足够的操作空间以便旋转调节旋钮。日常使用时，旋转旋钮应保持平稳，避免快速用力导致波纹管出现金属疲劳。定期检查波纹管表面是否有划痕或异物，有助于维持其密封性能与位移的平滑度。