池田屋直销IKC入江工研 XY角度调节平台机构

在复杂的真空实验系统中，样品不仅需要在水平面内进行位置对中，有时还需要调整其倾斜角度，以改变光束或离子束的入射角。IKC入江工研的 TSN 系列平台机构在 TSL 系列二维平移的基础上，集成了角度调节功能。TSN-114 是该系列中适配 CF114 法兰的手动型号，为腔体内的多维度定位提供了一种集成化方案。

该设备利用入江工研的成形波纹管进行密封与位移传递。当操作者旋转平台侧面的调节旋钮时，内部金属波纹管通过形变来顺应台面的平移与倾斜动作。全金属的密封结构不涉及橡胶滑动摩擦，减少了颗粒物与气体的释放，能够适应高真空（1×10⁻⁷ Pa）环境的使用要求，氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。

在调节能力方面，TSN-114 提供三个自由度的微调。XY 两个方向的平移范围均为 ±5mm；在此基础上，新增的倾斜角度调节范围为 0~5°。操作者可以通过分布在外围的多个微调旋钮，分别控制样品的平面位移与倾角姿态。这种复合调节机构使得在真空腔体外部即可完成样品的空间对位，适用于对入射角有特定要求的分析场景。

在接口配置上，TSN-114 的一侧采用 CF114 固定法兰，另一侧则可选配 CF70、CF114 或 CF152 法兰，以便与不同口径的腔体接口或 MFL 系列直进回转导入机对接。设备的允许烘烤温度上限为 150℃，在系统进行高温除气时可参考此限值。相比于仅具备平移功能的 TSL 型号，TSN 系列由于增加了角度调节组件，其结构高度有所增加。

从应用场景来看，TSN-114 适用于扫描探针显微镜（SPM）的探针与样品表面角度校准、X 射线衍射或反射实验中的样品倾角调整，以及离子束刻蚀设备的入射角控制。在实际安装时，需留意法兰接口处的轴向空间，避免平台在调节过程中与腔体内部件发生干涉。日常操作中，应平稳旋转各调节旋钮，避免因过度施力导致波纹管产生不可逆的变形，从而影响密封性能与调节精度。