池田屋精品IKC入江工研 零长度NEG泵

池田屋精品IKC入江工研 零长度NEG泵 ICF203

池田屋精品IKC入江工研 零长度NEG泵 ICF203

在要求高洁净度与极限真空度的科研分析、半导体制造及加速器工程中，常常需要在无振动、无电磁干扰的条件下维持超高真空环境。IKC入江工研的 ICF203 零长度 NEG（Non-Evaporable Getter）泵，利用特殊表面涂层的化学吸附特性，为超高真空系统提供了一种无需电源的被动式排气解决方案。

该产品的核心在于其表面处理工艺。该泵采用了无酸素 Pd/Ti 蒸着技术，这种涂层对活性气体具有较好的吸附能力。与传统的蒸发型吸气剂不同，NEG 泵属于非蒸发型，其激活过程只需在外部对泵体进行加热。根据技术资料，将泵体加热至 125℃~175℃（最高推荐温度 150℃），或者在腔体烘烤时，就可使其活化并开始排气。激活后，该泵无需电力供应即可持续工作，避免了电磁干扰的产生。

在结构设计上，该型号为“零长度"（Zero length）设计。其主体厚度（t）仅为 22.0mm，重量为 2.85kg。这种极薄的结构使其能够直接夹装或紧凑地安装在管路法兰之间，尤其适合内部空间狭小的腔体。连接法兰规格为 ICF203（外径 φ203，PCD 181.1mm）。排气部没有突出的凸起（高 0mm），进一步节省了安装空间。

在性能参数方面，该 NEG 泵主要用于吸收氢气（H₂）与一氧化碳（CO）等活性气体，对于甲烷等惰性气体或碳氢化合物的吸附能力较弱。在高温烘烤与激活配合下，能够达到 10⁻⁸ Pa 以下的超高真空。其排气速度（针对 H₂）为 200L/s。设备支持反复再生（活化）使用，参考再生次数为 10 回以上。

在实际操作中，NEG 泵通常与涡轮分子泵或干泵配合使用。系统抽真空时，先由机械泵或涡轮分子泵进行粗抽，待压力降低后，再对 NEG 泵进行加热激活，以捕捉残余的活性气体。需要注意的是，NEG 泵属于消耗性部件，其吸附容量有限，在吸附饱和后需要更换或进行更高温度的再生处理。该产品适用于需要无振动环境的电子显微镜、表面分析仪器以及空间模拟设备等。