日本进口IKC入江工研 手动真空XY平台

在超高真空环境下的表面分析、光学检测及离子束加工中，样品或探针往往需要在平面内进行二维的位置微调。IKC入江工研的 TSL 系列 XY 平台机构通过全金属波纹管密封，在保持真空隔离的同时提供机械位移。TSL-70 是该系列中适配 CF70 法兰的手动型号，主要用于配合磁力导入机（如 MFL-70）进行腔体内的位置对中与微调。

该设备采用波纹管式密封机构，核心使用了入江工研制造的成形波纹管。与传统的橡胶密封滑台不同，波纹管在发生侧向偏移时依然能够维持高真空密封，减少了摩擦颗粒与气体释放。其使用压力范围覆盖大气压至 1×10⁻⁷ Pa，氦检漏漏率低于 1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。设备结构采用了简易的台面设计，有助于控制整体高度与成本。

在调节能力方面，TSL-70 提供两个方向的位移：XY 方向调节范围均为 ±5mm（调节精度参考值为 5mm 行程）。设备四周配有调节旋钮，操作者可以通过旋转旋钮推动内部台面，实现样品的二维平移。根据图纸，该型号的一侧法兰为 CF70 固定法兰，另一侧法兰可按需求在 CF70、CF114 或 CF152 中选择，以便与不同口径的腔体或导入机对接。

需要留意的是，型号后缀“TSL"代表其仅具有 XY 二维平移功能。若实验还需要倾角调节，同系列的“TSN"型号在 TSL 的基础上增加了角度调节机构（Angle 0~5°）。TSL-70 的允许烘烤温度上限为 150℃，在系统进行高温除气时，需在此温度范围内操作。

从应用场景来看，TSL-70 常与 MFL 系列直进回转导入机串联使用。导入机负责长行程的直线推拉与旋转，而 TSL 平台则负责在平面上的精细对位。这种组合适用于扫描探针显微镜（SPM）的样品寻找、小型真空腔体内的光路校准，以及需要微调样品相对位置的科研装置。在实际安装与操作时，应保持调节旋钮的平稳旋转，避免快速冲击导致波纹管受损；同时需预留足够的法兰接口空间，以便于手部操作和观察刻度。