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产品分类 / PRODUCT
更新时间:2025-06-25
浏览次数:186B-72WJ 是日本 YAMAMOTO(山本镀金)生产的 螺旋应力计,主要用于工业领域中的 电镀应力精确测量与控制,其核心用途及技术特点如下:
实时监测电镀内部应力
通过传感器测量基板应变,实时分析电镀层内部应力变化,适用于薄膜、晶圆等精密元件的微弱应力检测(可测低至0.5μm膜厚)。
多阶段应力追踪
在一次测量中记录不同电镀时间(膜厚)的应力数据,并支持在已镀膜层上二次镀覆时的叠加应力分析。
兼容特殊工艺环境
适用于碱性浴、化学镀等场景,满足半导体、电子元件制造中对低应力镀层的工艺要求。
半导体制造:晶圆镀膜应力控制,确保微电路结构稳定性。
精密电子元件:薄膜电容器、微型传感器等镀层的应力管理。
科研与质检:电镀工艺开发中的应力再现性验证(重复误差≤±2%)。
注:设备需搭配专用烧杯和测试件进行低应力测量,部分功能套装含CE认证。
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