电测EX-851 X射线荧光膜厚计技术参数与应用解析

电测EX-851 X射线荧光膜厚计技术参数与应用解析

一、产品概述

电测株式会社（Densoku Co., Ltd.）推出的 EX-851 X射线荧光膜厚计，是一款适用于原子序数22（Ti）及以上金属膜厚测量的高精度分析仪器。型号 EX-851 可同时测量双层及三层镀层膜厚，以及合金镀层的膜厚与成分比。产品标配两种机械滤波器与数值滤波器，可对铜上镍镀层、锌上铜镀层等组合进行高精度测量。其测量平台移动精度达1μm，配备五种准直器（最小0.1mm），并支持自动对焦与自动测量功能。

二、产品规格

三、核心设计特征

1. 高精度测量平台（1μm移动精度）
EX-851 采用高精度测量平台，移动精度达1μm，相比传统产品提升50倍，可根据坐标设置精确移动至指定位置进行连续测量，提高了测量的重复性与准确性。

2. 双重滤波系统
配备数值滤波器与两种机械滤波器（Co、Ni），可在最佳条件下进行测量，确保对原子序数相邻的基材与镀层组合（如Cu上Ni、Zn上Cu）获得高精度测量结果。

3. 内置五种准直器
标配0.1、0.2、0.5、1.0、2.0 mmΦ五种准直器，自动切换，最小直径0.1mm可测量极小区域。可选配0.05mm及狭缝型准直器（0.05×0.5mm）。

4. 自动对焦与自动测量模式

• 自动对焦功能提高工作效率

• 自动测量模式：放置样品并关门后，平台自动移动并完成测量

• 手动测量模式：放置样品后自动执行聚焦操作

5. 两种测量模式

• 多重测量与多重校准曲线：记录坐标后自动测量激光照射点附近的多个点，每个点可使用不同校准曲线

• 光谱实时显示：多通道处理实现2-3秒内的高速光谱显示

6. 测量平台CCD观察与放大倍率调节
X射线照射区域通过CCD相机捕获并显示于Windows屏幕，支持放大倍率调节功能，准直器切换时倍率自动适配。

7. 增强的报告创建功能
基于Windows软件，可轻松捕获测量屏幕，报告生成功能全面。多任务处理允许测量与报告生成同时进行。

8. 自诊断与X射线管维护功能
具备自诊断功能，可快速排查设备故障。X射线管使用时间与耐久时间显示功能，确保维护安全。

9. 可测量范围

四、功能应用

五、数据处理功能

• 统计信息：平均值、标准差、最大值、最小值、范围、Cp、Cpk

• 直方图显示

• 轮廓数据显示

• 测量数据三维显示

• XR控制图

六、典型应用场景

七、选型要点

• 确认测量元素种类与膜厚范围

• 确认最大样品尺寸（200×200mm）与高度（90mm）

• 确认所需准直器最小直径（最小0.1mm，可选0.05mm）

• 确认是否需要自动平台功能

• 确认使用电源为AC100V

八、总结

电测 EX-851 X射线荧光膜厚计通过1μm高精度平台、双重滤波系统与五种自动切换准直器，为PCB、电子元件、汽车零部件等行业提供了一种高精度的膜厚测量方案。其自动对焦、自动测量与多重校准曲线功能，适用于单层至三层镀层及合金镀层的膜厚与成分分析。