池田屋精品！坂口台式ExLASER®激光平面瞬时加热装置技术参数

池田屋精品！坂口台式ExLASER®激光平面瞬时加热装置技术参数

一、产品概述

坂口电热株式会社（Sakaguchi Electric Heaters Co., Ltd.）推出的台式 ExLASER®（X-Laser）激光平面瞬时加热装置，是加热系统 ExLASER® 系列的桌面版本。型号 台式 ExLASER® 将加热单元与控制单元集成于一体，采用紧凑的台式尺寸设计，适用于研究和测试等多种应用场景。该装置利用激光加热技术，即使在大气环境中也能实现直接加热，以低功耗实现高功率密度，加热功率密度达 34W/cm²（ε=0.9），适用于半导体晶圆退火、材料热处理及科研实验等需要快速、精准局部加热的领域。

二、产品规格

三、产品系列对比

四、核心设计特征

1. 紧凑型台式设计
加热单元与控制单元集成一体，采用桌面尺寸设计（H580×W320×D470mm），适合在实验室、研究室等有限空间内使用。

2. 激光直接加热
采用激光加热技术，即使在大气环境中也能直接对物体进行加热，无需加热周围环境，实现高效能量利用。

3. 高功率密度与低功耗
以低功耗实现高功率密度（34W/cm²，ε=0.9），加热效率高，运行成本低。

4. 快速升降温特性
可实现超快速的温度上升和下降，显著缩短工艺周期。典型测试数据显示，加热 φ1/2 英寸晶片时，500W 功率下 10 秒后温度超过 850°C，20 秒后降至 100°C 以下。

5. 可选真空腔室
如需在真空环境下加热，可选购附加真空腔室，扩展应用范围。

6. 完备的测量设备
标准配备辐射温度计、USB 摄像头和 PC，可实时监测加热温度并记录过程。

五、典型应用场景

六、选型要点

• 加热面积：确认所需加热区域是否在 φ13mm 以内

• 激光功率：根据工艺需求选择最大 50W 是否满足要求

• 使用环境：确认是在大气中加热还是需要选配真空腔室

• 基板类型：透明基板（如玻璃、蓝宝石）不能直接加热

• 电源条件：确认现场是否提供 AC100V 15A 电源

• 空间限制：确认主机尺寸（H580×W320×D470mm）是否满足安装空间要求

七、注意事项

• 透明基板不能直接加热，需采用间接加热方式

• 需要真空加热时，需选购附加真空腔室

• 辐射温度计和 USB 摄像头为标准装备，使用前需确认安装和校准

• 本产品适用于研究和测试场景，如需量产应用建议咨询厂家

八、总结

坂口台式 ExLASER® 激光平面瞬时加热装置通过集成化设计与激光直接加热技术，为半导体晶圆退火、材料热处理及科研实验等应用提供了一套紧凑、高效的瞬时加热解决方案。其 φ13mm 的加热面积、50W 激光功率、34W/cm² 的功率密度及快速升降温特性，适用于需要高精度局部加热的研究与测试场景。