池田屋精品！ULVAC DIS-252涡旋式干泵技术

池田屋精品！ULVAC DIS-252涡旋式干泵技术

一、产品概述

ULVAC爱发科推出的 DIS-252 涡旋式干泵，是一款采用双绕式涡旋结构的两阶段干式真空泵。型号 DIS-252 设计排气速度 250 L/min（50Hz）/ 300 L/min（60Hz），极限压力可达 1.6 Pa，具备从大气压到极限压力全范围运行能力。该产品采用无油涡旋设计，低振动、低噪音，维护周期可通过计时表控制，适用于分析设备、气体回收系统、镀膜设备及半导体制造工艺等应用场景。

二、产品规格

三、核心设计特征

1. 双绕式涡旋结构
采用 1 根轨道螺旋和 2 根固定螺旋的双绕式设计，实现高效排气和优异的极限真空度（1.6 Pa）。

2. 干式无油设计
泵腔内无油运行，排气清洁，不会发生真空油的返流和油雾，适用于对清洁度要求高的工艺。

3. 全压力范围运行
可从大气压力到极限压力范围内连续运行，无需旁通管路。

4. 低振动·低噪音
涡旋式结构运行平稳，噪音低，适合在实验室和安静环境中使用。

5. 维护周期可控
维护周期可通过计时表控制，便于制定预防性维护计划。

6. 多种电源对应
支持单相（100V/115V/200V/230V）和三相（200V/208V/230V/380V/400V/415V/460V），适配不同现场电源条件。

7. 国际认证
已通过 CE 和 cTUV 认证，产品安全性和品质符合国际标准。

四、型号与电压对应

五、典型应用场景

六、选型要点

• 电源条件：确认现场电源为单相或三相，电压是否在适用范围内

• 排气速度需求：50Hz 下 250 L/min，60Hz 下 300 L/min

• 安装环境：仅限室内使用，环境温度 5～40℃

• 排气成分：不适用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蚀性气体

• 粉尘防护：含粉尘或生成物的气体需安装吸气阱

七、注意事项

• 吸入粉末或生成物会导致泵损坏，请使用吸气阱

• 禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蚀性气体，否则可能导致故障、爆炸或火灾

• 仅供室内使用，请勿安装于下雨或淹水的地方或室外

• 三相规格比单相规格轻约 2kg，且长度方向短 30mm

• 抽速的数值显示在产品的铭牌上，建议定期确认

八、总结

ULVAC DIS-252 涡旋式干泵通过双绕式涡旋结构和干式无油设计，为分析设备、镀膜工艺及半导体制造等应用提供了一套清洁、高效、低维护的真空解决方案。其 250 L/min（50Hz）的排气速度、1.6 Pa 的极限压力及 25kg 的轻量设计，适用于需要清洁真空的各类工业和研究场景。