池田屋新品VAT 20.3蝶阀20336-PA14正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司20.3系列蝶阀（型号：20336-PA14）。该产品采用铝制阀体与气动双作用执行器，压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至2bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，适配DN 63（2½英寸）口径与ISO-F法兰，电导550L/s，闸板压差≤1.6bar，关闭时间0.4秒。该型号专为污染性与腐蚀性真空工艺中的可靠隔离应用设计，为半导体、显示制造及化工真空领域提供紧凑、快速的隔离解决方案。

正文：

在半导体制造、显示生产及化工真空工艺中，蝶阀广泛应用于污染性与腐蚀性气体环境下的真空管路隔离与通断控制。此类工艺对阀门的耐腐蚀性、动作速度与密封可靠性提出了较高要求，同时安装空间的限制也要求阀门具备紧凑结构。传统蝶阀在腐蚀性环境中的长期可靠性存在局限。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司20.3系列蝶阀（型号：20336-PA14）。该产品的推出，为污染性与腐蚀性真空工艺提供了可靠的隔离解决方案。

型号20336-PA14的核心技术优势在于其快速动作、高耐压能力与紧凑设计的协同配合。该产品适配DN 63（2½英寸）口径与ISO-F法兰，电导550L/s，压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至2bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，密封性能可靠。闸板压差≤1.6bar，开口处压差≤0.5bar。采用气动双作用执行器，关闭时间仅0.4秒，可满足高频次快速动作需求。阀体材质为铝，阀体最高耐受温度120℃，执行器最高120℃。气缸容积0.04L，最大压缩空气压力7bar，最小4bar。重量2.3kg，结构紧凑，便于在空间受限的设备中安装。

在结构设计与操作灵活性层面，20336-PA14同样表现良好。产品提供多种升级选项，包括客户特定法兰、附加端口、不同规格电磁阀及软泵功能等，用户可根据实际应用需求灵活配置。软泵功能可有效避免阀门快速开启时产生的压力冲击，适用于对压力变化敏感的工艺环境。

从典型应用场景来看，型号20336-PA14适用于半导体PVD/CVD工艺的真空隔离、显示制造中的腐蚀性气体环境隔离、化工真空系统的管路通断控制，以及各类污染性真空工艺的隔离应用等场景。池田屋技术团队指出，20.3系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是污染性与腐蚀性真空工艺隔离应用的可靠选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 20.3系列蝶阀20336-PA14引入国内市场，旨在为本土半导体、显示制造与化工领域提供兼具快速动作与可靠密封的真空隔离流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国真空技术的装备升级与效能提升。