池田屋IKC/入江工研 真空闸阀 KOSLARZE（Normal型 单面密封）

KOSLARZE（科斯拉斯）是入江工研株式会社（IRIE KOKEN CO., LTD.）开发的一款无滑动真空闸阀（Non-sliding Gate Valve），以“无滑动"为设计核心理念，适用于半导体制造装置、FPD制造装置及各类真空处理设备中的基板传输口开闭与腔室隔离。该产品采用金属波纹管密封结构，取消了传统闸阀中的滑动部件，从结构层面降低了颗粒产生风险，适用于对洁净度要求较高的真空工艺环境。

结构与工作方式
该闸阀为Normal型单面密封规格，阀体与阀板之间通过波纹管实现动作传递与密封隔离。阀门开闭由气动执行器驱动，执行器通过波纹管将动力传递至阀板，实现阀板与阀座之间的接触与脱离。由于动作过程中无滑动摩擦副，颗粒产生量较低，有助于保持工艺腔室的洁净度。阀板密封方向为单面密封，适用于常规真空隔离场景。

性能参数
阀体泄漏率不超过1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，阀板泄漏率不超过5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（逆压条件）。使用温度方面，阀体最高120℃，执行器最高60℃。开闭时间为1.0至3.0秒。操作气压范围为0.45至0.55 MPa。寿命为100万次（1M cycles）。材质方面，阀体采用A5052铝合金或SUS304不锈钢，波纹管采用AM350材质，阀板采用A5052铝合金或SUS304不锈钢，密封件为FKM。

设计特点
无滑动结构是该产品的核心特征，取消了传统闸阀中的滑动导向机构，从根源上减少了金属摩擦产生的颗粒。波纹管采用入江工研自制的金属波纹管，具备较好的疲劳寿命和密封可靠性。结构简洁，维护操作较为方便。

可选项与扩展
该型号可增加加热功能（阀体、阀板加热），适用于需要防止工艺气体冷凝的场合。压力方向标准为同压，可选正压规格。针对不同的工艺需求，还提供两面密封型（Seal方向切换型），可切换密封方向，在维护时保持传输腔室的真空状态。

应用指向性
KOSLARZE系列适用于对颗粒控制有要求的半导体前段制程、FPD面板制造以及各类需要洁净真空环境的工艺设备。Normal型单面密封规格适用于常规的腔室隔离与基板传输口开闭。具体价格及交货期请直接联系入江工研或其授权代理商获取报价。