池田屋原装TORAY 东丽EtherCAT氧分析仪 LD-600/SD 分离式传感器简介

更新时间：2026-10-14

浏览次数：38

摘要：

TORAY 东丽 LD-600/SD 氧气传感器支持 EtherCAT 工业通信，传感器本体与薄型传感单元分离设计，降低安装空间限制。可直接插入真空环境测量，无需取样，响应速度快；传感器采用特殊涂层处理，耐用性强，满足 CE、RoHS 相关标准，适配半导体、真空工艺在线氧含量监测。

正文：

在半导体、真空热处理、精密材料制备等工艺场景，真空腔体内氧含量实时监测一直是工艺控制难点，传统取样式氧分析仪容易破坏真空环境，难以集成到自动化产线。TORAY 东丽 LD-600/SD 氧气传感器专为工业自动化产线打造，搭载 EtherCAT 总线通信，可无缝接入现有 EtherCAT 自动化控制系统，方便设备联动、数据采集与远程监控。

产品采用传感单元与主机分离式结构，大幅放宽现场安装位置限制，实现节省空间的紧凑化安装。区别于常规气体检测设备，该传感器可直接插入真空环境开展测量，不需要额外取样管路，避免取样环节带来的氧含量数据偏差，非常适合各类真空工艺腔体在线监测。

依托独立传感元件设计，仪器拥有超快响应速度，能够快速捕捉腔体内氧气浓度变化，便于工艺人员及时调整工艺参数。氧传感器表层经过特殊涂层工艺处理，有效提升元件耐久性能，降低频繁更换探头带来的停机成本。

设备符合多项国际规范，满足 CE 标志 EN 61010-1、EN 61326-1 以及 RoHS 指令 EN 63000 标准，适配出口设备配套使用。EtherCAT 为德国 Beckhoff Automation GmbH 授权注册商标，通信稳定可靠，适合高精度自动化产线。

广泛应用于半导体真空制程、真空焊接、真空镀膜、热处理等行业在线氧监测。对于需要接入工业总线、真空环境下持续监测氧含量的自动化产线，LD-600/SD 是高集成度、高响应的在线氧检测方案。