池田屋新品推出光洲精密自动旋转平台 SA16A-RS01

池田屋新品推出光洲精密自动旋转平台 SA16A-RS01

池田屋新品推出光洲精密自动旋转平台 SA16A-RS01

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出光洲精密（KOHZU Precision）SA16A-RS01自动旋转平台。该产品台面尺寸160mm×160mm，旋转范围±10°，采用精密十字滚轮导轨与蜗轮蜗杆驱动系统。分辨率全步0.001412°（RT01）/0.0012°（RM01），微步进（1/20格）可达0.0000706°/0.00006°，重复定位精度≤±0.001°，最高速度7.06°/秒（RT01）/6°/秒（RM01）。水平承载能力137.2N（14kgf），采用东方马达5相步进电机驱动，工作距离220mm±1mm，旋转中心位移φ1mm/±10°，重量11.7kg。适用于半导体晶圆定位、光学元件角度调整及精密对准等自动化高精度角度定位应用。

正文

在半导体晶圆定位、光学元件角度调整及精密对准等自动化应用中，高精度的自动角度定位是实现高效生产与精确测量的关键环节。传统的旋转平台在精度、速度与承载能力方面往往难以兼顾，难以满足自动化产线对高精度角度定位的严苛要求。针对这一需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出光洲精密（KOHZU Precision）SA16A-RS01自动旋转平台。该产品现已正式供应，为自动化高精度角度定位提供可靠的解决方案。

SA16A-RS01是光洲精密推出的大型自动旋转（测角）平台，台面尺寸160mm×160mm，旋转范围±10°，采用精密十字滚轮导轨系统，确保旋转运动的平稳性与高刚性。驱动系统采用蜗轮蜗杆传动方式，提供高减速比与高扭矩传输，实现精确的角度控制。水平承载能力137.2N（14kgf），弯矩刚度0.06角秒/N·cm，适用于承载各类光学元件与半导体工件。

在分辨率与精度方面，SA16A-RS01搭载RT01或RM01驱动单元，全步分辨率分别为0.001412°与0.0012°，半步分辨率分别为0.000706°与0.0006°，微步进（1/20格）可达0.0000706°与0.00006°，实现超高分辨率的角度定位。重复定位精度≤±0.001°，运动损失≤0.005°（RT01）/≤0.002°（RM01），回差≤0.001°，确保角度定位的高重复性与高可靠性。最高速度7.06°/秒（RT01）/6°/秒（RM01），满足产线节拍需求。

在驱动与控制方面，SA16A-RS01采用东方马达5相步进电机（C087Q-9215P，额定电流0.75A/相，基本步进角0.72°）驱动，连接器采用广濑RP13A-12RA-20PC规格。建议使用光洲KOSMOS系列控制器及五芯电机引线连接线。提供两相电机规格选项（SA16A-RM01-BM，追加费用¥80,000），采用东方马达PK264JDB电机，连接器为广濑PC-1620、P-1620A-STA规格。

在产品设计方面，主体采用白色铝合金材质，兼具轻量化与耐腐蚀性，重量11.7kg。工作距离220mm±1mm，旋转中心位移φ1mm/±10°。提供清洁润滑脂规格（后缀“-C"）与真空润滑脂规格（后缀“-V"），适配洁净室与真空环境应用。可选同型号电机更换（约¥30,000）或异形电机更换（约¥80,000）。

在应用场景方面，SA16A-RS01适用于半导体晶圆的高精度角度定位、光学元件自动化角度调整、精密对准系统的角度控制、同步辐射设施的光学元件调节，以及各类需要自动化高精度角度定位的工业与科研应用。

SA16A-RS01广泛应用于半导体制造、光学对准、精密测量及同步辐射设施等领域。光洲精密表示，SA16A-RS01自动旋转平台以蜗轮蜗杆驱动与高精度设计，为自动化高精度角度定位提供了可靠的解决方案。