池田屋新品ULVAC SGT-100吸排气过滤器

摘要： 在半导体、电子器件及化工等真空工艺中，酸性气体、油雾及粉尘颗粒对真空泵的长期稳定运行构成严重威胁。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）SGT-100型吸排气过滤器，采用离子交换树脂纤维滤芯，可高效捕捉排气中的粉末、酸性气体及油雾，既可安装于真空侧也可安装于排气侧，滤芯可更换，为真空泵及泵油提供了经济高效的洁净防护解决方案。

正文：

在半导体刻蚀与沉积、电子器件制造及真空干燥等工艺中，从工艺腔室排出的气体常含有腐蚀性组分、反应副产物及微小粉尘颗粒。这些物质若直接进入真空泵，不仅会加速泵体腐蚀、污染真空泵油，还可能导致泵体卡死或性能劣化，大幅增加维护成本与停机时间。传统过滤方案往往难以兼顾酸性气体中和与颗粒物捕集的双重需求。为应对这一挑战，池田屋引入日本ULVAC SGT-100型吸排气过滤器。

SGT-100是ULVAC针对真空系统气体净化需求开发的吸排气两用过滤器，其核心过滤元件采用离子交换树脂纤维，可同时实现物理拦截与化学吸附双重功能。该过滤器可高效捕捉排气气体中的粉尘颗粒，同时通过离子交换作用中和吸收HCl、HF等酸性气体，并能有效捕集真空泵排气中的油雾，从而长期保持真空泵和泵油的洁净度，显著降低泵体故障率并延长换油周期。

在核心性能方面，SGT-100适用于500L/min以下抽速的真空泵，使用压力范围为0.1MPa，工作环境温度7～40℃，湿度85%以下（无结露）。其吸气口和排气口均为KF-25标准接口，安装灵活，可便捷地接入现有真空管路。产品高度尺寸为154mm，滤芯可更换，降低了长期使用成本。

在应用场景方面，SGT-100广泛适用于半导体刻蚀与CVD设备、电子器件真空镀膜系统、真空干燥设备等各类使用ULVAC及同类真空泵的真空系统气体净化。该过滤器既可安装于泵吸气侧（防止工艺粉尘进入泵内），也可安装于排气侧（净化排气、降低环境污染）。

行业观察人士指出，在真空系统的维护管理中，气体过滤是延长泵寿命、降低运营成本的有效手段。池田屋此次引入的ULVAC SGT-100吸排气过滤器，以其离子交换树脂纤维技术、吸排气双用安装及KF-25标准接口便利性等核心优势，为国内半导体、电子及化工领域的真空系统用户提供了高性价比的泵体保护方案。

综合来看，该产品的推广应用，有助于提升真空系统在含腐蚀性及颗粒物工艺中的运行可靠性，降低设备维护成本，为制造与工艺稳定提供坚实的技术支撑。