池田屋新品ULVAC DA-60S隔膜型干泵

池田屋新品ULVAC DA-60S隔膜型干泵

池田屋新品ULVAC DA-60S隔膜型干泵

摘要： 在半导体晶圆处理、医疗器械、印刷设备及自动化包装等工业应用中，中等流量且无油的清洁真空源是保障工艺环境与设备可靠运行的关键。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）DA-60S型隔膜型干泵，以60/72 L/min的排气速度和21.3×10³Pa的极限压力，兼具结构紧凑与高性价比优势，为工业自动化与实验室设备提供了可靠的清洁真空解决方案。

正文：

在半导体晶圆吸盘与处理、医疗器械真空镊子、印刷设备吸附、自动包装机及注塑机等工业场景中，清洁、无油的真空源是确保工艺稳定与产品质量的基础。传统油封泵存在油蒸汽污染风险，而大型干泵在成本和尺寸上不适用于中等流量的分散式应用。为满足这一需求，池田屋引入日本ULVAC DA-60S型隔膜型干泵。

DA-60S是ULVAC DA系列中的标准型隔膜泵，气体接触区域不使用润滑油，实现洁净无油排气。其有效排气速度在50Hz下达60 L/min，60Hz下达72 L/min，极限压力为21.3×10³Pa（真空计显示-80.0kPa），可满足大多数工业与实验室清洁真空应用的需求。

在设计与配置方面，DA-60S搭载单相100V、200W、4极分相启动电动机，全负荷电流在50Hz为5.6A、60Hz为5.0A。整机重量11kg，尺寸212(W)×278(L)×224.5(H)mm，吸排气口为O.D.Φ9×I.D.Φ5（Rc1/4），使用环境温度范围7～40℃。该泵内置安全保护功能，支持100V、115V、200V、220V等多种单相电压选配。

在应用场景方面，DA-60S广泛适用于真空吸盘与晶圆处理设备、真空镊子与医疗器械、印刷设备吸附系统、自动包装机及注塑机等工业设备的真空系统。需要注意的是，该泵不适用于腐蚀性气体、有机溶剂、液体及水蒸气等易冷凝气体的排气。

行业观察人士指出，在工业自动化与实验室设备领域，中等流量的隔膜式干泵是分散式清洁真空源的主流选择。池田屋此次引入的ULVAC DA-60S隔膜型干泵，以其60/72 L/min排气速度、无油洁净排气及高性价比等核心优势，为国内工业设备与实验室仪器制造商提供了可靠的真空源选择。

综合来看，该产品的推广应用，有助于提升工业自动化与实验室设备的真空系统清洁度与经济性，为精密制造与科学研究提供坚实的技术支撑。（