池田屋新品VAT 59.0 UHV全金属可变泄漏阀59024-GEGG正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司59.0系列UHV全金属可变泄漏阀（型号：59024-GEGG）。该产品采用全金属设计与镀金不锈钢膜片密封技术，配备集成式步进电机压力控制器与RS232通讯接口，可精确控制极小气体流量（1×10⁻¹⁰mbar·L/s至500mbar·L/s），压力范围覆盖UHV至10bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻¹⁰mbar·L/s，适配DN 16（⅝英寸）口径与CF-R可旋转法兰。该型号专为超高真空与超高真空工艺中的远程自动化高精度气体计量应用设计，为科研与制造领域提供智能化、可远程控制的气体流量控制解决方案。

正文：

在表面科学、薄膜沉积、离子注入及质谱分析等超高真空（UHV）与超高真空（XHV）工艺中，精确可控的微量气体引入是实现工艺优化的关键环节。随着工厂自动化水平的不断提升，对泄漏阀的远程控制、自动化集成与数据通讯能力提出了更高要求。传统手动泄漏阀在自动化集成与远程控制方面存在局限，难以满足现代化制造的需求。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司59.0系列UHV全金属可变泄漏阀（型号：59024-GEGG）。该产品的推出，为超高真空与超高真空工艺提供了兼具高精度气体计量、全金属密封与远程自动化控制的综合解决方案。

型号59024-GEGG的核心技术优势在于其全金属设计、集成式步进电机控制器与RS232远程通讯的协同配合。该产品配备集成式步进电机压力控制器与RS232通讯接口，支持远程自动化控制与数据通讯，可便捷集成于现有控制系统，实现气体流量的精确远程调节。控制器配置为基本版本/集群从设备，配备1个传感器接口。可调节气体流量范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar·L/s至500mbar·L/s，可精确控制极小的气体流量，满足超高真空工艺对微量气体引入的严苛要求。压力范围覆盖UHV至10bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻¹⁰mbar·L/s。适配DN 16（⅝英寸）口径与CF-R可旋转法兰，电导0.05L/s。阀体最高烘烤温度300℃，执行器（控制器）最高50℃。重量2.5kg，关闭时间3.5s。

在结构设计与操作灵活性层面，59024-GEGG同样表现。产品提供角阀与直通阀两种版本，控制器可集成安装或可拆卸式设计，配备可拆卸式控制器时，阀门可在最高300℃下烘烤（控制器拆卸后）。

从典型应用场景来看，型号59024-GEGG适用于自动化表面科学分析系统中的微量气体远程引入、薄膜沉积工艺的反应气体精确远程配比、离子注入设备的气体流量自动化控制，以及质谱与气体分析系统的标准气体泄漏远程校准等场景。池田屋技术团队指出，59.0系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是超高真空远程自动化高精度气体计量应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 59.0系列UHV全金属可变泄漏阀59024-GEGG引入国内市场，旨在为本土科研与制造企业提供兼具高精度气体计量、全金属密封与远程自动化控制的真空流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国超高真空技术的智能化升级与效能提升。