池田屋近期推出入江工研VFP2114-1000L真空柔性管新品

摘要： 在半导体、加速器及超高真空设备中，柔性管作为真空管路系统中关键的连接与减振元件，其密封性能与弯曲柔韧性直接关系到设备在振动环境下的长期可靠运行。池田屋近期推出的入江工研（IRIE KOKEN）VFP2114-1000L型真空柔性管，采用SUS316L不锈钢材质及CF法兰接口，具备62.8mm内径、85mm外径、1×10⁻⁹ Pa·m³/s的超高真空泄漏率及优异的弯曲性能等核心优势，为半导体制造、加速器及超高真空系统提供了高可靠性的柔性管路连接解决方案。

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池田屋近期推出入江工研VFP2114-1000L真空柔性管新品。在半导体制造、粒子加速器及超高真空设备中，真空管路系统作为设备的重要组成部分，其连接元件的密封性能与弯曲柔韧性直接关系到设备在振动环境下的长期可靠运行。刚性管路在面对真空泵组振动、设备热胀冷缩及安装位置偏差时往往存在应力集中与密封失效风险，而柔性管则可有效吸收这些不利因素，保障真空系统的密封完整性。为满足国内制造领域对超高真空柔性管的需求，池田屋近期宣布，正式推出入江工研（IRIE KOKEN）VFP2114-1000L型真空柔性管新品。

入江工研是一家源自日本的真空组件专业制造商，在柔性管设计与制造领域拥有数十年技术积累。VFP2114-1000L型真空柔性管采用SUS316L不锈钢材质制造，具备优异的耐腐蚀性能与耐热性能。该型号内径为62.8mm，外径为85.0mm，壁厚0.40mm，两端配置CF法兰（外径113.5mm、P.C.D.92.2mm、8-φ8.5安装孔），符合超高真空行业标准接口规范，可与CF114规格的配合件实现金属密封连接。管体采用U型波纹结构设计，最小弯曲半径为150mm，重复弯曲半径达250mm，可在有限空间内实现灵活的管路走向布置，有效吸收真空泵组振动与管路热变形，降低系统应力。

在密封性能与使用条件方面，VFP2114-1000L型真空柔性管在出厂前经过氦气泄漏测试，泄漏率可控制在1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下，满足超高真空应用要求，适用于加速器、表面分析仪器及半导体制造设备等对真空度要求极为严苛的场景。产品可在常温至250℃烘烤温度范围内稳定工作，适用于需高温烘烤除气的超高真空系统。管体采用U型波纹结构，相较于传统Ω型结构具有更优的弯曲性能，有效减少了安装空间要求，在超高真空管路减振与位移补偿应用中具备优异的运行稳定性。产品提供500mm、1000mm、1500mm、2000mm四种标准长度选型（型号后缀-500L、-1000L、-1500L、-2000L），用户可根据实际安装距离灵活选择。

在应用场景与选型方面，VFP2114-1000L型真空柔性管广泛适用于半导体制造设备中的超高真空管路连接与减振、粒子加速器与核聚变研究装置中的真空系统连接、表面分析仪器（如XPS、AES、STM）中的超高真空接口连接，以及各类需要金属密封的高真空与超高真空系统。入江工研提供NW-KF型（VF1000/VFP1000，泄漏率1×10⁻⁷ Pa·m³/s）、CF法兰型（VF2000/VFP2000，泄漏率1×10⁻⁹ Pa·m³/s）、JIS法兰型（VF3000/VFP3000）及Tube End型（VF4000/VFP4000）四种接口规格，覆盖NW10至NW100以及CF34至CF152等多种尺寸，可灵活适配不同应用场景对真空度、接口形式、长度及弯曲性能的综合要求，充分满足不同行业客户的合规性要求。池田屋表示，入江工研作为真空组件领域的专业制造商，其VFP系列真空柔性管在设计之初便充分考量了超高真空系统对柔性连接与可靠密封的实际需求。未来，池田屋将持续携手入江工研，深耕真空组件技术领域，为国内装备制造行业提供可靠的产品与技术支持。