池田屋新品TORAY 东丽 LD-600/SD 氧气传感器，适配真空工艺

更新时间：2026-10-14

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摘要：

池田屋推出 TORAY 东丽 LD-600/SD 氧气传感器。产品支持 EtherCAT 工业总线通信，采用分离式传感结构，可直接插入真空环境测量无需取样，响应迅速，传感器经特殊涂层处理耐用性强，满足 CE、RoHS 相关国际标准，适配半导体真空制程在线氧监测场景。

正文：

近日，池田屋推出 TORAY 东丽 LD-600/SD 氧气传感器，面向半导体、真空镀膜、真空热处理等自动化产线，提供真空环境下的实时氧含量监测解决方案。

LD-600/SD 最大亮点是支持 EtherCAT 通信，可直接集成至搭载 EtherCAT 总线的自动化设备与产线，便于工艺数据采集、设备联动控制。产品采用氧传感器与薄型传感单元分离设计，减少现场安装位置限制，实现紧凑型空间安装。

不同于传统取样式氧检测设备，LD-600/SD 传感器可直接插入真空腔体内完成测量，无需额外取样管路，规避取样环节带来的数据误差。依托独立传感元件，设备具备超快响应能力，能够快速捕捉真空腔体内氧浓度波动，帮助工程师及时调整工艺参数。传感器表面采用特殊涂层工艺，有效提升元件耐久度，降低传感器更换频次，减少产线停机维护成本。

该产品符合多项国际规范，满足 CE 标志 EN 61010-1、EN 61326-1 以及 RoHS 指令 EN 63000 标准，可配套出口自动化设备使用。

现阶段该传感器已广泛用于半导体真空制程、真空焊接、真空镀膜、热处理等行业在线氧监测，针对需要接入工业总线、真空工况持续监测氧含量的自动化产线，LD-600/SD 提供高集成、快响应的在线氧检测方案。

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