池田屋精品！F001-X-02-3F Teflon®真空吸笔技术参数

池田屋精品！F001-X-02-3F Teflon®真空吸笔技术参数

一、产品概述

F001-X-02-3F 真空吸笔（Vacuum Wand）是一款专为5英寸（125mm）半导体晶圆处理而设计的专业级真空吸取工具。型号 F001-X-02-3F 为 NC（常闭） 阀控类型，主体采用 Teflon®（PTFE）材质，采用 PCTFE（聚三氟氯乙烯） 材料，具有优异的耐低温性能和耐化学腐蚀性。产品配备球形旋转接头，操作灵活，适用于半导体晶圆搬运、芯片处理等对洁净度和耐化学性要求较高的应用场景。本系列另提供 PEEK 和 Vespel® 材质选择，以适应不同工艺需求。

二、产品规格

三、型号编码说明

四、核心设计特征

1. 专为5英寸半导体晶圆设计
F001-X-02-3F 专为 125mm（5英寸）半导体硅晶圆处理而优化设计，尺寸与晶圆规格精确匹配，确保稳定、安全的拾取操作。

2. PCTFE 材质，耐低温与耐化学腐蚀
采用 PCTFE（聚三氟氯乙烯）材质，具有优异的耐低温性能（可长期工作在 -200°C 以下）和耐化学腐蚀性，同时对气体和湿气的渗透率极低，适用于低温工艺及需要高化学稳定性的半导体制造环境。

3. Teflon® 主体，耐化学腐蚀
主体采用 Teflon®（PTFE）材质，具有优异的耐化学腐蚀性和耐高温性能，适用于无尘室及半导体制造等严苛环境。

4. 球形旋转接头
配备球形旋转接头，可实现灵活的角度调节，便于操作人员在各种姿态下稳定握持和操作。

5. 阀控类型：NC（常闭）
NC（Normally Closed）表示未操作时真空关闭，用户按压触发时才产生吸力。这种设计可有效防止误吸，适用于需要精确控制吸气时机的精细操作场景。

6. 多种材质选择
本系列提供三种材质可选，满足不同工艺需求：

五、PCTFE 材质优势

六、阀控类型选择指南

七、配套附件

八、典型应用场景

九、选型要点

• 确认阀控类型（NC / NO / NO+SW）

• 确认材质（PCTFE / PEEK / Vespel®），PCTFE 适用于耐低温与耐化学需求

• 确认适用晶圆尺寸（本系列为5英寸/125mm）

• 确认是否需要配套附件（真空泵、防静电软管、接地套件、支架等）

• 确认总长度与重量是否满足操作习惯

十、总结

F001-X-02-3F Teflon® 真空吸笔通过 PCTFE 材质与 Teflon® 主体的组合，为 5英寸（125mm）半导体晶圆处理提供了一种耐低温、耐化学腐蚀的专业级拾取解决方案。其 NC（常闭）阀控设计、球形旋转接头及 PCTFE 材质优异的低温稳定性和化学惰性，适用于半导体晶圆搬运、低温工艺及无尘室操作等对耐低温性和化学稳定性要求较高的应用场景。