池田屋IKC/入江工研 波纹管式直线导入机 ILD-34M30（手动型）技术参数

池田屋IKC/入江工研 波纹管式直线导入机 ILD-34M30（手动型）技术参数

池田屋IKC/入江工研 波纹管式直线导入机 ILD-34M30（手动型）技术参数

ILD-34M30 是入江工研株式会社（IRIE KOKEN CO., LTD.）生产的一款波纹管式直线导入机（Bellows-sealed Linear Feedthrough），属于ILD-M系列手动型产品。该产品用于在大气侧与真空侧之间保持真空密封的同时，将直线运动传递至真空腔内，适用于半导体制造装置、真空设备及加速器设施中的基板升降、样品定位及机械手驱动等场景。内置入江工研自制的焊接波纹管，可在超高真空环境下使用。

结构与尺寸参数
该型号（ILD-34M30）采用CF34法兰（CF34FH）作为真空侧连接接口，行程为30mm。法兰规格符合ICF标准（Conflat Flange），适配CF34对应的真空端口。外形尺寸方面，A尺寸为50~80mm（根据行程位置变化），B为149mm，C为7mm，D为16mm，E为6mm（h7公差），F为5.0mm，G为8mm，H为42mm，I为38.0mm，J为51mm。驱动端手柄上设有刻度指示器，单位刻度为1mm，可实现行程位置的目视确认。

性能参数
使用压力范围为超高真空（1×10⁻⁸ Pa）至大气压，适用真空等级较高。轴向可承受的最大负荷为196N（约20kgf）。氦泄漏率不超过1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s。烘烤温度可达250℃，适用于需要高温烘烤除气的超高真空系统。驱动方式为手动旋转手柄驱动，通过螺纹进给机构实现直线运动。

材料与结构特点
内置波纹管采用SUS316L材质，具备良好的耐腐蚀性和疲劳寿命。轴承采用聚酰亚胺（Polyimide）材质，具有较低的释气率，适用于真空环境。手柄侧设有刻度指示器（单位1mm）及10分度刻度环，便于操作人员掌握行程位置。整体结构简洁，强调功能性与可靠性。

安装与使用注意事项
安装时需确认真空侧法兰为CF34规格，使用相应的铜垫圈和螺栓按规定的紧固力矩进行装配。驱动时轴向负载不应超过196N，超负荷使用可能导致波纹管变形或驱动机构损坏。烘烤温度不应超过250℃。手动操作时应注意螺纹进给机构的顺畅性，避免卡滞或强行操作。长期使用后如需更换轴承或波纹管，可联系厂家进行维护。

应用指向性
该产品适用于需要手动控制直线运动的超高真空系统，如表面分析装置中的样品操纵、薄膜沉积设备中的基板定位、加速器真空系统中的探测器定位以及各类真空实验装置中的线性驱动需求。具体价格及交货期请直接联系入江工研或其授权代理商获取报价。