池田屋IKC/入江工研 无氧Pd/Ti蒸着NEG泵 NEGLAZE ICF203零长度型技术参数

池田屋IKC/入江工研 无氧Pd/Ti蒸着NEG泵 NEGLAZE ICF203零长度型技术参数

池田屋IKC/入江工研 无氧Pd/Ti蒸着NEG泵 NEGLAZE ICF203零长度型技术参数

NEGLAZE（ネグレーズ）是入江工研株式会社（IRIE KOKEN CO., LTD.）开发的一款无氧Pd/Ti蒸着非蒸发型吸气剂泵（Non-Evaporable Getter Pump），采用ICF203零长度（Zero Length）法兰设计。该产品通过与干泵、涡轮分子泵组合使用，在真空排气及加热烘烤后，可在10⁻⁸ Pa以下的超高真空环境中实现持续排气。

该型号（图番HBD02805000）采用ICF203法兰规格（φ203×t22mm），法兰PCD为181.1mm，厚度为22.0mm，无突起部（零长度设计）。本体重量为2.85kg，材质为SUS304L。零长度设计意味着产品在安装时不占用额外的轴向空间，适合空间受限的真空系统布局。

排气性能与工作条件
可排气气体为氢气（H₂）和一氧化碳（CO）。对H₂的排气速度为2,200 L/s。工作压力范围为10⁻⁵ Pa至10⁻⁹ Pa。激活（活化）通过125℃至175℃的加热烘烤实现（推荐温度150℃），在烘烤温度下无需持续加热即可完成激活。再活化次数可达10次以上，多次暴露大气后仍可维持排气性能。激活后无需电力供给，有利于降低系统运行能耗。

工作原理
NEG（Non-Evaporable Getter）泵通过吸气剂材料的化学吸附作用捕获气体分子，与通过升华方式工作的传统吸气剂泵不同。NEGLAZE在真空部件内表面形成无氧Pd/Ti蒸着薄膜，加热激活后冷却，薄膜表面及内部可吸附氢气等活性气体分子。该产品不伴随蒸发或溅射现象，且可实现无油排气。

设计特点
零长度设计（高度0mm）是该产品的显著特征，不占用真空法兰以外的额外空间，适合在紧凑的真空系统中安装。重量较轻（2.85kg），安装较为方便。运行过程中无噪声且不产生颗粒，适用于对洁净度和安静性有要求的精密分析环境。

安装与使用注意事项
安装时需确认法兰规格为ICF203，使用对应的铜垫圈和螺栓按规定的紧固力矩进行装配。激活温度应控制在125℃至175℃范围内，推荐150℃，温度过高或过低可能影响激活效果或导致产品性能下降。暴露大气后需重新进行激活操作，反复暴露于大气后仍可维持排气性能，但再活化次数上限约为10次。该产品保修期为出厂后6个月，具体使用前请参照产品附带的使用说明书。

应用指向性
NEGLAZE适用于需要超高真空环境的各类容器、分析仪器及样品存储设备，如表面分析装置、电子显微镜、粒子加速器真空系统以及需要长期维持超高真空的储存容器等。具体价格及交货期请直接联系入江工研或其授权代理商获取报价。