日本原装现货荏原 EBARA 干泵EV-X300N

最新资讯 日本荏原 EBARA 干泵EV-X300N

近期我司新推出或升级了荏原 EBARA 干泵凭借其无油运行、耐腐蚀及高洁净度的技术特性，主要应用于以下对真空环境要求严苛的工业场景：

‌一、制造领域‌

1. ‌半导体与液晶面板生产‌

• 制造过程中需超高洁净真空环境，干泵无油设计避免油蒸气污染晶圆和精密元件，保障薄膜沉积/蚀刻工艺稳定性。

2. ‌太阳能电池制造‌

• 用于硅片镀膜设备的真空系统，耐腐蚀设计适应化学气相沉积（CVD）工艺中的腐蚀性气体环境。

‌二、科研与特殊工艺‌

1. ‌真空镀膜设备‌

• 金属/光学镀膜时提供稳定真空度，无油污染确保镀层均匀性和附着力（如装饰镀膜、光学镜片镀膜）。

2. ‌制药与生物实验室‌

• 输送敏感介质时避免油污染，符合无菌生产要求，适用于冻干机、分子蒸馏设备。

‌三、化工与腐蚀性环境‌

1. ‌腐蚀性气体处理‌

• 特殊涂层与材质（如EV-S200型号）耐受酸碱气体，用于化工反应釜排气、废气回收系统。

2. ‌锂电池电极生产‌

• 在电极材料干燥工序中提供无油真空，防止电解液污染，提升电池安全性。

‌核心优势‌

注：荏原干泵需定期维护转子与密封件，建议由授权服务商执行专业保养。