OHARA小原株式会社用于 i 线的高均匀性光学玻璃

i线用高均匀性光学玻璃具有优异的内部透过率、优异的光学均匀性、且日晒（紫外线引起的着色）少等特点，可用于半导体制造装置（步进机）及相关设备（照明等）。

• 01内部透射率（τ）

  玻璃透明度的指标为不包含表面反射损失的光谱透射率（τ），表示365nm处的内部透射率的保证值。但样品厚度为10mm。

• 02日晒

  过度曝光度是指用超高压汞灯照射照射前光谱透射率80%所对应波长后，光谱透射率的下降程度。详细的测定方法和条件，请参考“日本光学硝子工业会标准（JOGIS）”。

• 03光学均匀性

  通过使用氦氖激光干涉仪测量平行玻璃平面的局部折射率变化Δn，来保证均匀性。保证Δn值会因玻璃种类、尺寸和形状而异，因此分别表示160φ以下、210φ以下、260φ以下。交货尺寸薄于25mm时，将以25mm以上的暂定厚度进行测量和保证。我们也可以提供比标准值更严格的规格，欢迎垂询。

• 04同一批次内折射率的变化

  同一批产品，相同退火工艺后Ni的偏差以小数点后第五位表示。例如：±1 (×10⁻⁵)

• 05性能容忍度

  由于此为特殊规格，折射率高于产品目录值时，视为标准值，在此基础上增加±20的公差，并将折射率（ni）的允许范围显示至小数点后第五位。例如：+20±20

•本目录格式基于本公司的光学玻璃主目录，适用于i线以外的光学系统。各特性项目的详细数据[PDF]请参考。以下项目与详细数据[PDF]有所不同。

•给出了 326 至 2325 nm 范围内 22 个光谱的折射率。

•对于产品目录中未列出的波长，折射率可以像以前一样使用Sellmeier色散公式计算。由于色散公式的适用范围有所扩展，数据表列出了326至1129nm波长范围内使用的色散常数。如果您想了解1129nm至2325nm波长范围内的折射率，请使用下面列出的色散常数。

•不仅显示传统的 10 毫米样品厚度 (τ10) 的内部透射率，还显示更实用的 25 毫米厚度 (τ25) 的内部透射率。

（注）光学均匀性标准：根据玻璃种类和尺寸，我们可能会提供比上述值更严格的规格。更多详情，请联系我们。

（注）性能公差：我们可以适应比上述值更严格的规格，因此请联系我们了解详情。