池田屋近期推出入江工研VFP3080-1000L真空柔性管新品

摘要： 在半导体、真空设备及石油化工行业中，JIS法兰接口柔性管作为真空系统管路连接的关键元件，其标准化程度与弯曲柔韧性直接关系到设备在振动与热循环环境下的长期可靠运行。池田屋近期推出的入江工研（IRIE KOKEN）VFP3080-1000L型真空柔性管，采用SUS316L不锈钢材质及JIS法兰接口，具备78mm内径、102mm外径、1×10⁻⁷ Pa·m³/s的泄漏率及优异的弯曲性能等核心优势，为半导体制造、真空镀膜及石油化工行业提供了标准化的柔性管路连接解决方案。

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池田屋近期推出入江工研VFP3080-1000L真空柔性管新品。在半导体制造、真空镀膜及石油化工行业中，真空管路系统作为设备的重要组成部分，其连接元件的标准化程度与弯曲柔韧性直接关系到设备安装的便利性与长期运行的可靠性。JIS（日本工业标准）法兰作为日本及亚洲地区真空设备广泛采用的接口标准，具有良好的通用性与互换性。为满足国内制造领域对标准化真空柔性连接的需求，池田屋近期宣布，正式推出入江工研（IRIE KOKEN）VFP3080-1000L型真空柔性管新品。

入江工研是一家源自日本的真空组件专业制造商，在柔性管设计与制造领域拥有数十年技术积累。VFP3080-1000L型真空柔性管采用SUS316L不锈钢材质制造，具备优异的耐腐蚀性能与耐热性能。该型号内径为78.0mm，外径为102.0mm，壁厚0.40mm，两端配置JIS法兰（外径160mm、P.C.D.135mm、4-φ12安装孔），符合JIS真空法兰标准接口规范，可与同规格配合件实现可靠的真空密封连接。管体采用U型波纹结构设计，最小弯曲半径为220mm，重复弯曲半径达300mm，可在有限空间内实现灵活的管路走向布置，有效吸收设备振动与管路热变形，降低系统应力。

在密封性能与使用条件方面，VFP3080-1000L型真空柔性管在出厂前经过氦气泄漏测试，泄漏率可控制在1×10⁻⁷ Pa·m³/s以下，满足高真空应用要求。产品可在常温至250℃烘烤温度范围内稳定工作，适用于需高温烘烤除气的真空系统。管体采用U型波纹结构，相较于传统Ω型结构具有更优的弯曲性能，有效减少了安装空间要求，在高真空管路减振与位移补偿应用中具备良好的运行稳定性。产品提供500mm、1000mm、1500mm、2000mm四种标准长度选型（型号后缀-500L、-1000L、-1500L、-2000L），用户可根据实际安装距离灵活选择。

在应用场景与选型方面，VFP3080-1000L型真空柔性管广泛适用于半导体制造设备中的真空管路连接与减振、真空镀膜设备中的工艺腔室与真空泵组连接、石油化工领域的真空系统管路，以及各类采用JIS法兰标准的真空设备与系统。入江工研提供JIS法兰型VF3000/VFP3000系列共6种规格（25A、40A、50A、65A、80A、100A），泄漏率均控制在1×10⁻⁷ Pa·m³/s以下，可灵活适配不同口径与应用场景对接口标准、长度及弯曲性能的综合要求，充分满足不同行业客户的合规性要求。池田屋表示，入江工研作为真空组件领域的专业制造商，其VFP3000系列真空柔性管在设计之初便充分考量了真空系统对标准化连接与柔性管路布局的实际需求。未来，池田屋将持续携手入江工研，深耕真空组件技术领域，为国内装备制造行业提供可靠的产品与技术支持。