池田屋近期推出入江工研VFP4012-500L真空柔性管新品

摘要： 在半导体、真空设备及分析仪器行业中，管端接口柔性管作为真空系统管路连接的关键元件，其安装灵活性与弯曲柔韧性直接关系到设备在有限空间内的管路布局与长期可靠运行。池田屋近期推出的入江工研（IRIE KOKEN）VFP4012-500L型真空柔性管，采用SUS316L不锈钢材质及管端接口，具备12.4mm内径、17.1mm外径、1×10⁻⁷ Pa·m³/s的泄漏率及优异的弯曲性能等核心优势，为半导体制造、真空镀膜及分析仪器行业提供了灵活可靠的柔性管路连接解决方案。

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池田屋近期推出入江工研VFP4012-500L真空柔性管新品。在半导体制造、真空镀膜及分析仪器行业中，真空管路系统作为设备的重要组成部分，其连接元件的安装灵活性与弯曲柔韧性直接关系到设备在有限空间内的管路布局与长期运行的可靠性。管端接口（Tube End）型柔性管因其无需法兰连接、可直接与管道焊接或夹持安装的特点，在空间受限或需要轻量化连接的场景中具有明显优势。为满足国内制造领域对灵活安装真空柔性连接的需求，池田屋近期宣布，正式推出入江工研（IRIE KOKEN）VFP4012-500L型真空柔性管新品。

入江工研是一家源自日本的真空组件专业制造商，在柔性管设计与制造领域拥有数十年技术积累。VFP4012-500L型真空柔性管采用SUS316L不锈钢材质制造，具备优异的耐腐蚀性能与耐热性能。该型号内径为12.4mm，外径为17.1mm，壁厚0.15mm，两端为直管端接口（外径12.7mm、壁厚1.24mm），可直接与配合管道进行焊接或通过卡套接头连接，无需法兰部件，有效减少了连接组件的重量与安装空间。管体采用U型波纹结构设计，最小弯曲半径为35mm，重复弯曲半径达130mm，可在极为有限的空间内实现灵活的管路走向布置，特别适用于设备内部密集管路系统的连接与减振。

在密封性能与使用条件方面，VFP4012-500L型真空柔性管在出厂前经过氦气泄漏测试，泄漏率可控制在1×10⁻⁷ Pa·m³/s以下，满足高真空应用要求。产品可在常温至250℃烘烤温度范围内稳定工作，适用于需高温烘烤除气的真空系统。管体采用U型波纹结构，具有优异的弯曲性能，在紧凑空间内的管路减振与位移补偿应用中具备良好的运行稳定性。产品提供250mm、500mm、800mm、1000mm四种标准长度选型（型号后缀-250L、-500L、-800L、-1000L），用户可根据实际安装距离与空间约束灵活选择。

在应用场景与选型方面，VFP4012-500L型真空柔性管广泛适用于半导体制造设备内部紧凑空间的真空管路连接与减振、真空镀膜设备中的腔体与泵组连接、各类分析仪器（如电子显微镜、质谱仪）中的真空接口连接，以及各类需要轻量化、无法兰连接的真空管路系统。入江工研提供管端接口型VF4000/VFP4000系列共3种规格（适用6.35mm、9.52mm、12.7mm管径），泄漏率均控制在1×10⁻⁷ Pa·m³/s以下，可灵活适配不同管径与应用场景对接口形式、长度及弯曲性能的综合要求，充分满足不同行业客户的合规性要求。池田屋表示，入江工研作为真空组件领域的专业制造商，其VFP4000系列真空柔性管在设计之初便充分考量了真空系统对紧凑安装与柔性管路布局的实际需求。未来，池田屋将持续携手入江工研，深耕真空组件技术领域，为国内装备制造行业提供可靠的产品与技术支持。