池田屋近期推出入江工研KOSLARZE-S-150-2真空门阀新品

摘要： 在半导体及FPD制造设备中，真空门阀作为腔体间基板传输与真空隔离的核心元件，其无颗粒产生、高密封性与长寿命直接关系到产品良率与设备稼动率。池田屋近期推出的入江工研（IRIE KOKEN）KOSLARZE-S-150-2型真空门阀，采用无滑动设计理念与自研金属波纹管技术，具备本体1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s的优异泄漏率、100万次以上重复寿命及最高120℃耐温等核心优势，为半导体制造、FPD及OLED生产设备提供了可靠的真空隔离解决方案。

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池田屋近期推出入江工研KOSLARZE-S-150-2真空门阀新品。在半导体及FPD制造设备中，真空门阀作为传输腔室与工艺腔室之间基板搬送与真空隔离的关键元件，其颗粒产生量、密封性能与动作寿命直接关系到产品良率与设备稼动率。传统滑动式门阀在启闭过程中因机械摩擦易产生颗粒污染物，已成为制约先进制程良率提升的重要因素。为满足国内制造领域对无颗粒真空门阀的需求，池田屋近期宣布，正式推出入江工研（IRIE KOKEN）KOSLARZE-S-150-2型真空门阀新品。

入江工研是一家源自日本的真空组件专业制造商，在真空门阀与金属波纹管技术领域拥有数十年技术积累。KOSLARZE-S-150-2型真空门阀以“无滑动"为设计核心，采用自研金属波纹管作为阀板驱动与密封元件，消除了传统门阀中滑动部件产生的摩擦颗粒，实现了真正意义上的颗粒自由。该型号阀箱材质为A5052铝合金或SUS304不锈钢，阀板材质为A5052铝合金，密封件采用FKM材质，最高烘烤温度可达120℃，适用于半导体及FPD制造过程中的真空环境。本体泄漏率控制在1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s以下，阀板泄漏率控制在5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s以下（逆压条件），可满足高真空至超高真空工艺要求。

在性能与可靠性方面，KOSLARZE-S-150-2型真空门阀采用气动驱动方式，操作空气压力范围为0.45至0.55MPa，开闭时间可在1.0至3.0秒范围内根据客户需求调整。产品设计重复寿命达100万次以上，结合自研波纹管的长寿命特性，在频繁启闭的真空传输应用中具备优异的运行稳定性。阀板可在维护时进行密封方向切换，便于O型密封圈更换，显著降低了维护难度与停机时间。产品可选项丰富，包括阀板及阀箱加热规格、正压密封方向等，可灵活适配不同工艺对温度与密封方向的特殊要求，充分满足不同行业客户的合规性要求。

在应用场景与选型方面，KOSLARZE-S-150-2型真空门阀广泛适用于半导体制造设备中的传输腔室与工艺腔室之间基板隔离、FPD及OLED制造设备中的玻璃基板传输、各种真空镀膜设备中的腔体分隔，以及各类需要无颗粒真空环境的工艺设备。入江工研提供KOSLARZE、GARIVA、CDV、MARINA、LINK及ROLL to ROLL等多种系列，覆盖角型与圆型、单面与双面密封、L-motion与T-motion驱动等完整产品线，可灵活适配不同应用场景对尺寸、压力方向、加热及寿命的综合要求。池田屋表示，入江工研作为真空组件领域的专业制造商，其KOSLARZE系列真空门阀在设计之初便充分考量了先进制程对无颗粒、高可靠性真空隔离的实际需求。未来，池田屋将持续携手入江工研，深耕真空门阀与密封技术领域，为国内装备制造行业提供可靠的产品与技术支持。